中古 STRASBAUGH Planarizer #9197592 を販売中

STRASBAUGH Planarizerは、高性能ウェーハ平面化と表面品質を提供するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、酸化物、窒化物、ポリシリコン、タングステン、金属などの特殊構造物の表面品質を向上させるために、複数の研削および研磨ステーションを使用します。フルカスタマイズ可能なコントロールユニットにより、基板要件に合わせてオンザフライのカスタマイズが可能で、幅広い用途に最適な基板を製造できます。Planarizerの主なコンポーネントには、均等にバランスのとれたフルシールのサブプラテン機が含まれています。このダイナミックサブプラテンツールは、複数のフレキシブルエアシリンダーを使用して、研削および研磨サイクル全体にわたって研削および研磨圧力を保持および均等に分配します。プラテン平坦度、研削圧力、研削および研磨の一貫性などのプロセスパラメータの優れた制御を提供し、優れた完成ウェハを作成します。基板は、最適化され、自動化されたfiducial認識ロボティクスで、プロセスの研削および研磨段階に移動されます。ユニークなチャックダンピングアセットは、基板表面全体に研削および研磨圧力を均等に分散させるように設計されており、バックリングまたはラップ圧力の不均一による仕上がりの潜在的な欠陥を排除します。研削と研磨は、クローズドループのフィードバックモデルによって制御され、プロセス中の圧力とプロセスパラメータを正確に監視します。STRASBAUGH Planarizerは、完成した基板表面を検証するための高解像度の光学イメージング装置も備えています。このシステムは、ステレオ顕微鏡と特許取得済みの明るいフィールド/ダークフィールドイメージング技術を使用して、傷、非均一性、ステップ高さ、厚さ、平坦性、およびその他の高度な表面粗さパラメータなどのさまざまな機能のインプロセスイメージングと検証を提供します。Planarizerは、アプリケーション固有のプロセスレシピとニーズを満たすようにカスタマイズされた構成で、スパッタリングおよび片面研磨ソリューションのフルレンジを提供します。特許取得済みのテーブルコントロールと自動fiducial認識ロボット技術により、新しいプロセスレシピを迅速に実装できるように設計されています。これらの技術の組み合わせにより、STRASBAUGH Planarizerは多種多様な研削および研磨ニーズに応えることができます。