中古 STRASBAUGH nTrepid 6EH #9239635 を販売中

STRASBAUGH nTrepid 6EH
ID: 9239635
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
CMP Polisher machine, 12" 2009 vintage.
STRASBAUGH nTrepid 6EHは、優れたウェーハ表面仕上げ品質と並外れたインプロセスプロセス制御を提供するように特別に設計された高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。nTrepid 6EHシステムは、半導体デバイス製造の厳しい要件を満たすように設計されており、精度、柔軟性、使いやすさを兼ね備えており、クリーンで欠陥のない表面とタイトなプロセス制御を提供します。最新の微細研磨技術を使用して、STRASBAUGH nTrepid 6EHは、さまざまなウェーハ表面を正確にプロファイルして準備するように設計されています。これには、すべてのウェーハ研削およびラッピングプロセスをサポートするための大きなプロセスウィンドウが含まれています。研削/ラッピング動作により、パッド表面の負担を最小限に抑えながら、クリーンな基板とプロセス制御を実現します。また、特定のデバイスのアプリケーションを満たすために、より多様なプロセス技術を可能にします。NTrepid 6EHには、25〜500 μ mの範囲で遷移ステップが可能な自動、高速、多軸研削ツールヘッドを含む、さまざまなカスタムビルドのプロセスハードウェアが装備されています。このマシンには、プロセスパラメータを正確に達成および検証するためのデュアル周波数、流体支援研磨ユニットも装備されています。STRASBAUGH nTrepid 6EHには、高度な画像処理機能を備えた専用のCCDカメラも付属しています。これにより、プロセスをリアルタイムで監視し、最適な表面仕上げ品質を得るためのパラメータを動的に調整できます。カメラには、プロセス全体の表面欠陥を検出するように設計された一連の状況解析アルゴリズムも装備されています。これにより、ユーザーはプロセスのドリフトを防止し、ウェーハの損傷を防ぐためにプロセスを監視することができます。正確な文書化と後処理は、分析ソフトウェアと統合されたシンプルなナビゲート表示および制御環境によって実現されます。最適な運用制御とプロセスロッキングを提供するために、nTrepid 6EHにはプロシージャプログラミングとプロセスロギング機能が付属しています。このマシンはまた、顧客のためのリモートアクセスと包括的な管理ツールをサポートしています。これにより、お客様は、スケジューリング、追跡、ツールの可用性とプロセスの管理など、プロセスを完全に制御できます。STRASBAUGH nTrepid 6EHはまた、詳細な品質管理分析を確実にするために、データ収集システムへの完全な統合を可能にします。結論として、nTrepid 6EHは、優れたウェーハ表面仕上げ品質と正確なインプロセスコントロールを提供できる高度で高性能なウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。このマシンには、最適な運用制御とプロセスロッキングを提供するように設計されたさまざまなカスタムビルドのプロセスハードウェアとシステムが装備されています。また、使いやすさと最大限のプロセス制御のための包括的な管理モデルに統合されています。
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