中古 STRASBAUGH 7X #9280144 を販売中

STRASBAUGH 7Xは、高品質で欠陥のないウェーハ表面を生成するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、Si、 AlN、 GaAs、 SiC、サファイア、フェライト、溶融シリカ、およびその他のセラミックスなどのさまざまな基板の研削、ラッピング、研磨に適しています。光通信、太陽電池、パワーアンプ、MEMSなどのアプリケーションに最適です。7Xユニットには、ウェーハ調製用に設計された環境制御コンディションチャンバーが装備されており、良好な基板表面仕上げと再現性を保証します。この機械はまた0。02 µmの決断に運転することができる高解像度の水晶ステップテーブルを特色にします。低粒子汚染を確実にするために、テーブルに複数の固定機構が組み込まれているため、ホルダーは虹彩荷重/アンロードアームに対して正確に整列することができます。台座は、幅広いプロセス能力を提供するように設計された高精度の3軸リニアグラインダー/ラッパーです。C3000コントローラに独自開発されたSTRASBAUGHソフトウェアにより、正確なウェハローディング、ラッピング、研磨プロセスが可能です。大きなワーキングエンベロープにより、ウェーハフォーマットを2「から8」まで柔軟に処理できます。さらに、STRASBAUGH 7Xは、プロセス中にウェーハの潜在的な欠陥を特定するために設計された自動検査アセットも備えています。プロセス中の清浄度を維持するために、7Xにはフィルム残留物や汚染物質がウェーハチャンバーに入らないように自動化されたパージングモデルが装備されています。この装置は、プロセス領域から大きな粒子やスラリー汚泥を除去するために使用される高容量ハイドロサイクロンセパレータを備えています。さらに、STRASBAUGH 7Xには、処理の各サイクルが厳格に制御され、空中粒子数を最小限に抑える自動洗浄機構も装備されています。研削およびラッピングパラメータの制御に加えて、クローズドループのクローズドループ制御とガスフローの両方の技術を使用して、表面仕上げと形状精度を向上させます。全体的7Xは、再現性の高い高品質な結果を得るために設計された効果的なウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。プロセス制御、オートメーション、および環境制御チャンバーにより、幅広い用途の精密ニーズに適しています。