中古 STRASBAUGH 7AA #9124369 を販売中

STRASBAUGH 7AAは、幅広い半導体、MEMS、オプトエレクトロニクスおよび関連デバイスの最適な表面仕上げのために設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、特定のプロセス要件に応じてさまざまな構成で利用できます。システムは、100mmから300mmまでのサイズの最大8つのウェーハに対応できるウェーハホルダーから始まります。人間工学に基づいて設計されたオペレータインターフェイスを備えており、複数のプロセスシーケンスを実行できます。ウェーハホルダーには、特許取得済みの「フローティング」ウェーハマウントユニットが装備されており、スタック内のすべてのウェーハで安定した反復可能な結果を提供します。STRASBAUGH 7 AAは、生産スループットとプロセスの忠実度を最大化するために、研削とラッピングの両方の操作を組み合わせて使用します。研削工程は、マシンの2つのウェーハ回転軸を介して達成され、3つの同時動作を可能にします。上面のロータリーダイヤモンドディスクは、ウェーハの表面を所望の形状に研磨します。真空エレベーターとして構成された2つ目の回転軸は、ホルダーからウェーハを取り出し、一連のインライン研削ステーションを介して移動します。各ステーションを通過すると、特定のウェハ要件を満たすように設定が変更されます。ラッピングプロセスでは、7AAは片面プラテン装置を使用します。この装置は、ダイヤモンド化合物、炭化ホウ素、ガラスビーズ、炭化ケイ素などのラッピング材料を必要に応じて収容します。プラテン装置はウェーハとラッピングプレート間の最適な接触圧力を提供するために調節可能である一組のローラーを含んでいます。研削とラッピング作業に続いて、7つのAAの研磨活動は、3つの圧子バニシングツールまたはロボットアームマウント研磨パッドのいずれかを使用して達成されます。バニッシングアセットは、平面化、面取り、面取り、クロスハッチなどの幅広い研磨作業用に設計されたコンパクトロボットアームモデルです。3インデンターパッドは、微細研磨とマクロ研磨の両方のために設計されており、特許取得済みのスリップ防止材料を備えており、研磨活動中にウェーハとの接触を維持することができます。STRASBAUGH 7AAも低メンテナンス操作のために設計されています。半透明なカバーは外部の環境条件から装置を保護し、塵の汚染を最小にします。内蔵のマイクロプロセッサは、あらかじめ決められたプロセスを実行するようにプログラムすることができ、手動操作の必要性を排除し、複数の生産にわたって再現性を確保します。STRASBAUGH 7 AAには、後処理リンスとDI水のためのペリスタルポンプ、または含まれているプロセスのためのHEPAフィルターなどのオプションのアクセサリーもあります。