中古 STRASBAUGH 7AA #39287 を販売中
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ID: 39287
ウェーハサイズ: 3"-6"
Fully automated wafer grinder / back grinder, 3"-6"
Specifications:
High precision, low stress vertical in-feed grinding method
For semiconductor materials and fragile materials
Capable of single and two-step grinding processes at high throughput.
STRASBAUGH 7AAは、最も要求の厳しい薄いウェハレベルの操作に効率的で正確で信頼性の高いソリューションを提供するように設計された、高性能のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。回転回転式ターンテーブルデザインにより、最大150個のウエハの研削、ラッピング、研磨を同時に行うことができます。プラットフォームには、127mmのホイール径と50〜400rpmの可変ホイール速度範囲を備えたメイン研削とラッピングヘッドのペアが装備されています。さらに、プレグラインダーのペアには、50 mmホイールと400〜5000 rpmの可変ホイール速度が取り付けられています。堅牢なデュアルヘッドセットアップにより、部品ごとに高い再現性と部品内での生産歩留まりを実現します。ターンテーブルには、自動投与システムと研磨プラテンがあり、可変ピッチ研磨ヘッドが付いています。各ワークステーションには、調整可能なドラッグ力を備えた光学結合ドラッグユニットが装備されており、正確なウェーハレベルの形状を確保しながらプロセスパラメータを正確に制御できます。機械は容易な維持管理のために開閉することができます。統合された真空機械は精密な磨くことのための環境の微粒子制御を可能にし、一貫した操作およびプロセス最適化を保障するために調節することができます。STRASBAUGH 7 AAは、プロセスを完全に自動化し、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスを迅速かつ正確に制御するための高性能コンピュータを搭載しています。さらに、ユーザーフレンドリーで直感的なヒューマンマシンインターフェイス(HMI)は、包括的なツール制御と監視機能を提供します。このマシンは、IC、 CMP、 MEMS、その他の特殊技術など、さまざまなウェハレベルのアプリケーションに対応するように設計されています。高度な光学、電気、熱システムは、プロセスの継続的な監視と是正措置を提供し、プロセスの最適化と歩留まりの改善を保証します。実績のある性能、柔軟性、精度を備えた7AAは、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨作業に最適なソリューションです。このアセットは、堅牢で生産指向のプラットフォームで非常に均一で正確なウェーハを製造するための高速で強力なソリューションを提供します。
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