中古 STRASBAUGH 6ZR-2 #9221840 を販売中

STRASBAUGH 6ZR-2は、精密半導体加工のために設計された高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、最大4つのウェーハを同時に正確に処理するための6軸ロボット化プラットフォームを備えています。シリコン、ゲルマニウム、サファイア、石英を含むすべてのウェーハ材料を処理することができます。6ZR-2は、さまざまな低粗度の表面仕上げにラッピングと研磨を提供し、高いプロセス品質を確保するためにいくつかの独自の技術を利用しています。このユニットには、ウェーハの積み下ろし機構を内蔵した固体工業用アルミ合金製の最先端ロボットアームが含まれています。ロボットアームは、高速ステッピングモータによって駆動され、非常に正確で反復可能な動きを提供し、迅速かつ正確なツール配置を可能にします。アーム設計は、様々なウエハサイズや作業距離に対応するために高度に調整可能であり、堅牢な構造により、メンテナンスを最小限に抑えた長寿命を実現します。STRASBAUGH 6ZR-2はまた、独自の可変速度制御と電子センサーを備えた強力な研磨モーターを使用して、研磨力を正確に制御します。この機能により、機械は高度なプロセス均一性を提供することができます。高圧真空ポンプは、工具や作業エリアからのすべての破片の除去を可能にするとともに、ラッピングおよび研磨プロセスの効率的な操作を可能にするために含まれています。このツールには、ワークステーションのダウンタイムを減らすように設計されたユニークなシンク型の研磨ヘッドも含まれています。6ZR-2は、最適な再現性と一貫性を確保するための多彩な制御機能を提供します。内蔵のコントローラは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを提供し、プロセス完了のリアルタイム監視とプロセスパラメータの保存を可能にします。さらに、自動統計プロセス制御（SPC）解析により、研削、ラッピング、研磨プロセスを厳密に制御できます。STRASBAUGH 6ZR-2は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための完全なアセットソリューションであり、正確な制御、反復可能な結果、長期的な信頼性を提供します。堅牢な構造、高度な機能、自動化された操作により、ウェット研削、ドライラッピング、研磨などの半導体アプリケーションに最適です。このモデルは、優れた品質と精度を提供し、ウェーハ製造プロセスのスループットを確実に向上させます。