中古 STRASBAUGH 6ZR-1 #9095656 を販売中

STRASBAUGH 6ZR-1は、さまざまな半導体ウェーハ加工用途に使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、シリコン、石英、サファイア、およびその他の光電子材料などの材料にわたって、要求の厳しいアプリケーションに高精度で反復可能な性能を提供するために構築されています。6ZR-1は、重要なウェハアプリケーションの表面仕上げ、丸み、曲率の半径を最適化するために、二軸設計を利用しています。STRASBAUGH 6ZR-1は、精密表面ラッピングと研磨を提供するワンステッププロセスです。高速モーターとギヤボックスを備え、高速でありながら高精度なウェーハ研削能力を備えています。6ZR-1は、可変周波数ドライブ（VFD）と可変ベベル設計を利用しており、さまざまな材料の正確な調整を可能にします。頑丈で直線的な電動二軸駆動ユニットにより、均一なラッピングと研磨の結果が得られます。STRASBAUGH 6ZR-1機は、軸、ラジアル、平面など、さまざまなフラットラッピング動作をサポートするように設計されています。スピンドルとラッピングプレートの両方が調整可能で、異なる材料に有利なプロセス条件を提供することができます。インプロセス部品検査が利用可能で、統合されたビジョンツールにより、ラップされたウェーハ表面と研磨されたウェーハ表面の両方を検査できます。6ZR-1アセットはまた、ラッピングおよび研磨作業のための組み込み制御および監視機能を備えた完全なプロセスオートメーションを提供します。これには、オートストップやオートリセット、繰り返し可能なプロセス結果のプロセス特性評価、ギャップクラッシュ防止などの機能が含まれます。全体的にSTRASBAUGH 6ZR-1は、高精度で反復可能なウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルを提供します。高品質、信頼性、再現性の高い結果を提供するように設計されており、要求の厳しいウエハアプリケーションにも精度と再現性を備えています。6ZR-1は、プロセスの自動化と最適な結果を得るためのインプロセス部品検査を含むワンステッププロセスを提供します。