中古 STRASBAUGH 6UR-1 #9070478 を販売中

STRASBAUGH 6UR-1ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、最高品質の反復可能な結果を持つ実質的にあらゆる種類の基板の専門加工を提供する最先端の機器です。6UR-1システムは、さまざまなサイズのウェーハを研削、ラッピング、研磨することができる完全に自動化されたプラットフォームです。このユニットには4つの加工チャンバーがあり、それぞれに専用の精密研削、ラッピング、研磨工具が装備されており、プロセスに関係なく最高レベルの再現性を維持しています。STRASBAUGH 6UR-1は、モノリシック基板を含むすべてのタイプの基板を正確に処理するように設計されています。または300mmまでのウエハ、1インチの厚いウエハまで処理します。6UR-1は、CMP、 CMP化学機械研磨、半導体用ナノテクノロジー、MEM （MicroElectroMechanical Systems）、ワイヤレスおよびテレコム部品の高度な処理など、幅広い用途に対応できます。すべてのSTRASBAUGH 6UR-1オートメーション機能は、セットアップのコストを削減し、生産効率を向上させ、プロセスの不安定化を排除するように設計されています。6UR-1マシンには、ウェーハの精密な積み下ろしとアンロードを提供するために、ロード/アンロードステーションと完全にプログラム可能なロボットアームが装備されています。このロボットを使用して、ロードステーションから4つの加工チャンバーのいずれかにウェーハを転送し、研削ホイールとラッピングプレートの両方を変更してさまざまな種類のプロセスを実行できます。このツールには、自動化されたプロセス制御を可能にするセンサーも装備されており、各プロセスに最高の精度と再現性を提供します。STRASBAUGH 6UR-1アセットには、リアルタイムプロセスの追跡と分析を提供する自動データ取得機能も備えています。これにより、圧力、水流/温度、ホイール/プレートRPMなどのさまざまなパラメータを使用して、正確な品質管理とプロセス監視が可能になります。これにより、プロセスのばらつきを減らし、スクラップを最小限に抑えることができます。結論として、6UR-1ウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングモデルは、多数の種類の基板を処理するための信頼性の高い完全な機器です。自動化されたデータ収集とロボットアームは、正確で再現性のある結果を提供し、リアルタイムのフィードバックでプロセス監視と品質管理を可能にします。このシステムには、特定のプロセス専用の4つの処理チャンバが装備されており、最大300mmのウェーハを処理することができ、幅広いアプリケーションに最適なソリューションです。