中古 STRASBAUGH 6EG #9314238 を販売中

STRASBAUGH 6EGは、幅広い半導体材料で優れた研磨結果を得るために設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、最高品質の仕様で研磨基板の生産に優れています。汎用性の高いウェーハグラインダー、ラッパー、ポリッシャーを組み合わせ、幅広い用途に対応できる単一のプラットフォームです。6EGは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のためのカスタマイズ可能で自動化されたプラットフォームを提供します。これはユニークなデュアルポート設計を誇り、異なる基板やアプリケーションに最適化することができます。プラットホームはガンマ線の損傷した基質とダイヤモンドのぬれたおよび乾燥した粉砕、ラッピングおよび磨くことを含んでいます。STRASBAUGH 6EGは、自己完結型流体管理機を採用したウエハ研削、ラッピング、研磨ステーションを内蔵しています。このツールを使用すると、電気化学研削、受動摩耗、化学機械研磨、さらにはこれらのすべての組み合わせをさまざまなレシピで使用することができます。ウェーハ研削、ラッピング、研磨の各ステップに均一で一貫した操作を提供します。さらに、6EGは、高度なモーションコントロール、自動ウェハ認識のための統合ビジョンアセット、およびクリーンな空気循環を確保するための多段式空気清浄機を採用しています。さらに、3軸デッドロードパッドポリッシャー、進化的なダイヤモンドスラリー配送および回収装置、マルチポジションマクロロボットエンドエフェクターを搭載しています。これらのコンポーネントはすべて、高精度の結果を保証するように設計されています。STRASBAUGH 6EGは、大型基板や小型基板の加工が可能で、研究と産業の両方に柔軟性を提供します。セットアップと操作の容易さのために設計されており、ユーザーは複雑なプロセスを実行し、優れた歩留まりを達成することができます。さらに、このシステムには安全性に優れたコンポーネントが装備されており、使用中に安全で信頼性の高い環境を提供します。全体として、6EGウェハ研削、ラッピング、研磨ユニットは、先進的な半導体基板の業界をリードするソリューションを提供します。強力な研削、ラッピング、研磨機能と堅牢な制御および管理マシンを組み合わせることにより、このプラットフォームは、研究および産業用途の厳しい要求を満たすことができる信頼性の高い品質の結果を提供します。