中古 STRASBAUGH 6EE #9412701 を販売中

STRASBAUGH 6EEは、完全に自動化されたプログラム可能なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。低、中、または大容量のウェーハ要件の微細研磨、小型ウェーハのラッピング、精密研削などの用途での精密研磨に最適です。この高度なシステムは迅速なセットアップが可能で、増大する大量のスループットと精度に対する要求に応えるように設計されています。このユニットは、正確で反復可能な結果を得るために、3軸、コンピュータ制御の位置決めステージを備えています。密閉されたデザインは、アプリケーションに応じて最大8ステップで、最適な研削とラッピングを可能にします。研削と研磨プロセスの各ステップは、最適な結果を得るために真空環境で完了します。また、均一な圧力制御を備え、ウェーハエッジ制御を含む正確なステップ制御を可能にします。個々のプログラム可能なウェーハ保持チャックを使用することで、さまざまな形状やサイズのウェーハやデバイスの処理が可能になります。これらのチャックは、さまざまなサイズ、タイプ、厚さの簡単な処理を可能にするために、オンデマンドで取り外し可能です。さらに、表面仕上げ試験機を搭載し、表面仕上げとウェーハの厚さを正確に測定します。この資産は、平均粗さ値が非常に低く、再現性の高い粗さ測定の一貫性を実現することができます。6EEは、プロセス監視、プロセス制御、データロギングインターフェイスなど、他のシステムと簡単に統合できます。また、Webサイトへのデータ送信、印刷電子機器、その他の外部場所へのデータ送信など、自動後処理のサポートも提供しています。このモデルは、高度な研究および生産プロセスのニーズを満たすように設計されており、信頼性と正確な結果を提供します。モジュラー設計と高度な機能により、ウエハ研削、ラッピング、研磨に最適な装置です。