中古 STRASBAUGH 6EE #293665130 を販売中

STRASBAUGH 6EEウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体およびMEMSデバイスの生産に完全なエンドツーエンドのソリューションを提供するように設計された先進的なウェーハ加工処理プラットフォームです。統合された設計とモジュラーアーキテクチャにより、システムを簡単にスケーリングし、特定のウェハレベルの製造要件に合わせてカスタマイズできます。このユニットはSTRASBAUGH特許取得済みのMAPL （Multiple Axis Polishing）技術を使用しており、ユーザーはウェーハの向きと表面プロファイルを正確に制御して高品質のサーフェスを作成できます。従来のウェーハ研削・研磨工程の利点と、研磨ジェット加工（AJM）やCMP加工に伴う高精度・高品質を兼ね備えています。また、MAPL技術により、プロセスの均一性が向上し、ウェーハクラッキングに関連する歩留まり損失が低減されます。このマシンは、さまざまな速度と圧力設定から自動的に調整でき、さまざまなウェーハジオメトリや表面仕様に対応できます。このツールはまた、高効率の真空アセットとノンストップ動作のための自動ベルトローディングモデルを備えています。6EEのオンボード診断装置は、処理されるウェーハの現在の状態を監視およびフィードバックすることができ、製造プロセス全体をより大きな制御することができます。MAPL技術に加えて、STRASBAUGH 6EEには、システム全体の機能を強化するさまざまなツールやアクセサリも含まれています。これには、ウェーハの向きを監視し、プロセスの進行をリアルタイムで監視できるインプロセスウェーハ分析ユニットが含まれます。機械の他の特徴は取り外し可能なベルトおよびウェーハの皿を短時間の変更の仕事量を容易にするために含んでいます。このツールには、ラッピングプレート、研磨パッド、アプリケーション固有のツールなど、さまざまなモジュールとオプションも含まれています。6EEは、片面研磨、両面研磨、半導体ウェハ加工用の裏研削など、さまざまなウェハ加工アプリケーションに最適なプラットフォームです。このアセットは、高い精度の製造結果を維持しながら、コストを削減し、効率を高めるように設計されています。その高度なMAPL技術と最適化された処理パラメータにより、一貫して高品質のウェーハが保証され、最も要求の厳しい半導体製造アプリケーションの要件を満たすことができます。