中古 STRASBAUGH 6EC #9398709 を販売中

STRASBAUGH 6ECは、精密な表面仕上げと低い表面欠陥を必要とするアプリケーションで使用するために設計された高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、精密で堅牢な2段ラッピングプラットフォームを使用して、非常に高いレベルの表面品質にウェーハを研削、ラップ、研磨します。STRASBAUGH 6 ECには2つのプラテン段が装備されており、それぞれ12インチ径のトラバースチャックと低慣性サーマルプレートを備えています。ウエハ表面を研磨し、ラップや研磨前に高い表面均一性を持つ鏡面状の仕上がりを実現するように設計されています。これは、各ウェーハの表面平坦度要件に応じて可変的に調整可能な高精度フィード制御で行われます。研削プレートは外部の流水によって冷却され、ZoneGuard破片制御機が装備されており、破片がワークゾーンを終了しないようにしています。6E Cの第2段階は、ダイヤモンドパウダーやアルミナスラリーなどのクイックチェンジラッピング/ポリッシングメディアを搭載した高精度なラッピングステージです。プラテンは熱されるか、または最適の終わりおよび表面の欠陥の作成のために冷却されます。再度、精密供給制御は精密な表面の均等性を保障するために利用されます。プラテンには、清潔な作業環境を維持するために使用されるメディア粒子をワークゾーンから除去する高効率の換気ツールが装備されています。この資産は、ユーザーフレンドリーなPCインターフェイスを使用して完全に自動化された方法で運用されます。ユーザーは、プロセスパラメータの保存とリコール、リアルタイムウェーハビデオとウェーハメトロロジーの結果の表示、モデルの状態の監視が可能です。最先端のロボティクスを使用して装置内のウェーハを操作し、手動操作を最小限に抑えて最適な結果を保証します。これにより、オペレータの介入を最小限に抑え、高速で効率的で信頼性の高いプロセスを実現します。6 ECは強力で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨システムで、優れた表面仕上げの均一性と高い欠陥レベルを提供し、高度に自動化されたプロセスの利点を付加して生産性を向上させ、ウェーハの手動処理を削減します。