中古 STRASBAUGH 6EC #9329077 を販売中

STRASBAUGH 6ECは、半導体、化合物、光学ウェーハの製造用に設計された高性能、精密ウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。このシステムは、最も要求の厳しい基板に優れた表面仕上げを作成するために使用されるウェーハ加工技術の上層を表しています。STRASBAUGH 6 ECは、複数の研削とラッピングヘッドを組み込んで、より正確で均一な仕上げを実現し、高度な自動化により、正確なプロセス制御とより速いサイクルタイムを実現します。研削とラッピング工程は、研磨研削とラッププレートと独自のソフトウェアを組み合わせて、後処理を必要とする基板の優れた仕上げを実現します。すべての重要なコンポーネントは精密モーションコントロールハードウェアによって駆動され、6 E Cにはレーザー干渉計ベースのインプロセスメトロロジーオプションが含まれています。6ECには、片面および両面研削/研磨プレート、スラリー濃縮板、ラッピングおよび研磨用パッドなどの消耗品のフルラインが含まれています。これにより、互換性のない材料間で遷移しても、一貫した再現性のある結果を得ることができます。6 ECはまた、自動ローディングとアンロード、クイックチェンジラッピング/研磨ツール、自動化されたプロセスレシピなど、生産性を向上させるための多くの機能を提供します。STRASBAUGH 6 E Cには、滑らかで一貫した材料輸送と最大の表面清浄性を提供する高度な真空ユニットが装備されています。このマシンには、頑丈なフレーム構造と、信頼性の高い安全な操作のための安全統合設計も含まれています。このツールの直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、技術者はリアルタイムでプロセスパラメータを監視および調整できます。要約すると、STRASBAUGH 6ECは、最も要求の厳しい基板で優れた表面仕上げを実現するための、世界クラスの高性能な研削、ラッピング、研磨資産です。正確なプロセス制御、短いサイクルタイム、一貫した再現性のある結果を得るための包括的な消耗ラインをユーザーに提供します。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、技術者はリアルタイムでプロセスパラメータを監視および調整でき、高度な安全モデルにより信頼性と安全性が保証されます。