中古 STRASBAUGH 6EC #9296334 を販売中

STRASBAUGH 6EC
ID: 9296334
ウェーハサイズ: 8"
CMP System, 8".
STRASBAUGH 6ECは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための堅牢で信頼性の高いソリューションを提供します。6インチのシリコンウェーハを一定の平坦度とストレートでクリーンなエッジで製造する業界をリードするツールです。STRASBAUGH 6 ECは、研削、ラッピング、研磨によってプロセスを経る材料に均一な仕上がりを滑らかにし、洗浄し、付与します。6 E Cは、現代の半導体産業が必要とする精度と信頼性を提供するように設計されています。シリコン、石英、ガラス、セラミックス、光学基板など様々な素材の直径5インチから8インチまでの研削、ラッピング、研磨が可能な、非常に汎用性の高い機械です。6 ECは、シングルスピンドルと3スピンドルの2つのバージョンで構築されているため、異なる生産ニーズに合わせて構成することができます。ストラスボーグ6 E Cは、世界初の真の6インチウェーハ研磨・研磨装置です。それに頑丈な、安定した設計構造が、頑丈な線形軸受け、特大の球ねじおよび高精度のための注文設計されていた粉砕および磨く頭部あります。また、高度な制御システムと高速かつ一貫した処理のための自動化された機能が含まれています。このマシンは、研削、ラッピング、研磨など、いくつかのプロセスモードを備えています。これらの各モードは、研削/研磨圧力、研磨濃度、サイクル速度、切断角度など、さまざまなパラメータを正確に制御します。これにより、ウェーハは本番稼働全体で一貫して再現可能です。6ECはあらゆる適用必要性を満たすために各プロセスをカスタマイズするための多種多様な付属品を収容するように設計されています。これらはダイヤモンドの粉砕車輪、ダイヤモンドのスラリー、磨くリングおよび緩衝を含んでいます。アクセサリーにはさらに、集塵機ユニット、潤滑機、粉砕車内の粉砕圧力を測定する圧力計が含まれます。STRASBAUGH 6ECは、より短いサイクル時間で高品質のウェーハを製造することができ、研削および研磨プロセス中に非常に正確で安定しています。これにより、迅速な再構成とセットアップが可能になり、より迅速な変更と優れたスループットレベルが得られます。その統合された制御ツールは、望ましい結果が正確に達成されるように、すべてのプロセスを100%監視します。
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