中古 STRASBAUGH 6EC #9294179 を販売中

STRASBAUGH 6ECは最先端、ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。シリコンウェーハの優れた平坦性と表面仕上げを実現するとともに、汚染や傷などの不具合を防ぎます。STRASBAUGH 6 ECシステムは非常に正確で効率的です、それはより良い表面仕上げを達成することができますとして、0。2 nm Raと非常にタイトな3平らなオリエンテーションで3umのシグマ平坦度12。6 E Cは、4つの主要ステーション、粗研削、ウエハラッピング&デバリング、超微細ラッピング&研磨、クリーニング/ドライステーションで構成されています。粗研削ステーションは、ウェーハの厚さを必要なサイズに抑え、表面の損傷を最小限に抑えて効率的にウェーハ表面を平準化するために使用されます。ウェーハラッピング&デバリングステーションは、スラリーと破片をすばやく取り除くための磁気フロートプレートを備えており、パッドの迅速な交換、効率の向上、汚染の回避を可能にします。超微細なラッピング&研磨ステーションは、0。2nm RA未満の非常に高精度な表面仕上げを実現するように設計されています。テープ転送アーム（TTA）またはパッド転送アーム（PTA）で構成できます。最後に、クリーニングと乾燥ステーションは、ウェーハを迅速かつ徹底的に乾燥するための統合された加熱乾燥ユニットを備えており、合計8つのノズルが最先端の洗浄性能を提供しています。機械6ECまた研削、ラッピング&研磨プロセスを合理化し、効率を最適化する多くの自動化されたプロセスを備えています。具体的には、自動ウェーハ位置決め&ハンドリングツール、自動サイズ調整メカニズム、ウェーハクランプとアンクランプ、パッドとウェーハ転送、およびさまざまな可視化と安全システムを備えています。全体的な資産はまた、堅牢で信頼性が高く、メンテナンスが容易なように設計されています。結論として、STRASBAUGH 6 E Cは、シリコンウェーハに優れた平坦性と表面仕上げ結果を提供するように設計された、現代的で高性能なウェーハ研削、ラッピング&研磨モデルです。6 ECは、強力な研削、ラッピング&研磨機能、および自動化されたプロセスと簡単なメンテナンスにより、比類のない精度とスピードでほぼすべてのタイプのウエハを研削、ラップ、研磨することができます。