中古 STRASBAUGH 6EC #9294178 を販売中

STRASBAUGH 6ECはプログラム可能なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、さまざまな研削、ラッピング、研磨機能を実行するために必要なツールを収容するプロセスチャンバーを備えています。チャンバーには180度の回転研削ブリッジ、2つのプログラム可能な研削ホイール、2つの手動ラッピングプレート、2つの強制ラッピングリング、3つの15インチ研磨バッフィングホイールが装備されています。プロセスチャンバーには調節可能な高さプラットフォームがあり、35〜110mmのサイズの基板の配列に対応しています。また、研削およびラッピング工具の位置を正確かつ正確に制御するための統合ユニットを備えています。研削ブリッジは、独立してまたは一体で操作することができ、複雑なプロセスを実行することができ、円周の周りに最大12のツールを収容することができます。2つのホイールとラッピングプレートはプログラム可能で、速度、力、角度、タイミングなどのプロセスのさまざまな側面を正確に制御できます。マシンの研磨ベイには、2つの強制ラッピングリングと3つのバッフィングホイールが含まれています。強制ラッピングリングは最大3,000lbfの圧力をかけることができ、可能な限り最も正確なラッピング結果を得ることができます。緩衝車輪は等級1から5の光学平坦の条件の磨かれた基質を提供します。さらに、車輪は低い粒子の汚染のレベルの低い傷の表面の終わりを達成することができます。STRASBAUGH 6 ECツールは、ほぼリアルタイムのプロセス監視とフィードバックを提供する自動クローズドループ制御アセットによって駆動されます。この制御モデルは、クーラント流量、トルク、電流、力、温度など、さまざまなプロセスパラメータを効果的に制御することができます。この機器はまた、プロセス履歴全体の長期的なデータロギングをサポートしており、ユーザーはプロセスのパフォーマンスを監視できます。このユニットは、安全障壁やライトカーテンなどの広範な安全機能を誇っています。障壁は偶発的な接触による傷害および装置の損傷を防ぐように設計されています軽いカーテンは機械が作動しているとき生産が続くことを可能にします。また、直感的なユーザーインターフェイスとアクセス可能な機械部品により、簡単なセットアップとメンテナンスのために設計されています。