中古 STRASBAUGH 6EC #9112652 を販売中

STRASBAUGH 6ECは、最も要求の厳しい基板加工ニーズに対応するように設計された、堅牢で汎用性の高い高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。連続可変C軸、デュアルサイドアームホルダー、優れた力と圧力制御機能、および高速かつ正確な電子機器を備えています。STRASBAUGH 6 ECは、特許取得済みの再現性スイッチングアルゴリズムを使用して、より一貫した動作を実現します。この機能を使用すると、基板材料を正確かつ一貫して研削、ラッピング、研磨するための自動プロセス、またはマルチステップレシピを作成できます。プロセスパラメータも簡単にプログラム可能で、複数のシステムで簡単に共有できるため、大規模な生産設備に最適です。このユニットには、幅広い設計の基板と材料が含まれています。これらには、アルミナ、セラミック、酸化マグネシウム、石英、サファイアが含まれます。さらに、6 E Cは直径12インチまでのラージエリア基板での使用に最適化されています。自動ローディングとアンロードのために、ユーザーは統合されたロボットとアームローダーを利用することができます。STRASBAUGH 6 E Cは、湿式加工と乾式加工の両方を使用しています。湿式加工法では、研磨スラリーを基板表面に送り込み、その強力な遠心力を使用して効果的な研削、ラッピング、研磨ソリューションを作成します。スラリーはプロセス室に戻って排水し、オペレータの介入の必要性を減らします。この乾燥加工法は、安全で効果的なエッチング技術を使用して基板表面をさらに精製します。6ECの最も印象的な特徴の1つは、高圧/高温コンプライアンスです。これにより、基板表面を損傷することなく、効率的かつ効果的に処理することができます。さらに「クール」なチャンバーにより、基板表面の酸化を最小限に抑えます。STRASBAUGH 6ECは、自動自己校正機能と強力なモーションコントロール機能を備えた、信頼性と耐久性に優れています。このツールはまた、工場とユーザー定義のレシピの組み込みライブラリを誇り、プログラミングの時間と労力を大幅に削減します。STRASBAUGH 6 ECには、ダイヤモンドツール、真空システム、冷却システム、温度キャリブレーションアクセサリーなど、さまざまな追加アクセサリーが付属しています。これらのすべては、6 E Cを市場で利用可能な最高級かつ最も効率的なウェーハ研削、ラッピングおよび研磨システムの1つにするために追加されます。