中古 STRASBAUGH 6EC #9105741 を販売中
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STRASBAUGH 6ECは、ウエハ研削、ラッピング、研磨装置を自動化し、超薄型平面加工を実現します。このシステムには、高速かつ正確な平面化のための調整可能なトルクを備えた2段の低周波研削モータが含まれています。外部計測制御ユニットは、一定のインフィード速度を維持することにより、両側に均一な平面化を保証します。機械はカセットに収容される統合された研磨剤と速く、容易な転換のために設計されています。STRASBAUGH 6 ECは、可変スピードモーターを備えた6ポケットダイヤモンド/超硬研削ホイールを採用しています。ホイールのグリットサイズは0。3〜0。7ミクロンで精密研削が可能です。調節可能な送り装置の車輪は高速、低力粉砕を可能にします。ウェーハは真空チャック付きのロータリープラテンに固定され、接触と正確な研削を保証します。6 E Cにはラッピングと研磨ステーションも含まれています。ラッピングプレートは、高速モーターと調整可能な周波数駆動を備え、ウェーハ表面のラッピングを実現します。ウェーハの接触面積と回転速度を考慮したアルゴリズムプログラムで設計されており、均一な仕上がりを実現しています。特許取得済みの振動機構により、ウェーハ表面の最適な研磨が保証されます。このツールには、スラリーとクリーンステーションが装備されています。この設計により、表面を効率的に洗浄するための簡単なノズル変更が可能になります。この資産は、使用済みのスラリーを収集し、不純物をフィルタリングするようにも設計されています。6 ECは、ユーザーフレンドリーなHMI （Human Machine Interface）で設計されています。グラフィックディスプレイは、オペレータの対話とともに、プロセス操作を容易にします。それは容易な変数調節およびプロセス監視を可能にする押しボタンのコントロールパネルを特色にします。このモデルは、プロセス変数とリアルタイムデータを計算するSiemens S7-300コントローラで動作します。この装置は、高度な安全監視機能と予防保全機能を備えており、性能と効率を向上させています。STRASBAUGH 6 E Cは、ウェーハの生産を簡素化する、オールインワンの自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。非常に信頼性が高く、超薄型ウェーハに精密な平面化を提供します。その高度な安全機能とユーザーフレンドリーなHMIにより、薄い基板表面の超精密な平面化に最適です。
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