中古 STRASBAUGH 6EC #293816891 を販売中

STRASBAUGH 6EC
ID: 293816891
Chemical Mechanical Planarization (CMP) systems.
STRASBAUGH 6ECは、自動化された完全にプログラム可能なウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。この高精度な表面とラッピングシステムは、ウェーハ上の表面を仕上げるように設計されています。それは4つの主要なコントローラーから成っています:表面の終わりのコントローラー、オリエンテーション/ロックのコントローラー、粉砕/ラッピングコントローラーおよび磨くコントローラー。表面仕上げコントローラはユニットのコアであり、オペレータは機械的研削、ラッピング、研磨の問題から素早く回復するだけでなく、表面仕上げのすべてのサンプル回転とセットポイントを制御することができます。3Dサーフェスプロファイリングが可能で、最大3つのサーフェスを一度にプロファイルできます。また、ステップスキャンマシンを搭載しており、各ウェーハの表面を順次点検し、工具のスループットを最大化します。オリエンテーション/ロックコントローラは、ウェーハを安全かつ正確に処理し、ウェーハの位置やサイズに関係なく同じ圧力がかかることを確認します。また、サンプル位置間のロック機構を迅速かつ正確に切り替えることができます。研削/ラッピングコントローラは、独立した制御された線形および回転運動で研削/ラッピングプラテンの周りにウェーハを移動する能力をオペレータに提供し、一定のレベルの力でサイクルを実行することができます。この制御には、インシーケンスストップモーションが組み込まれています。研磨コントローラは、ウェーハの表面に最終研磨を適用するために使用されます。各サンプルの最終的な研磨重量を記録することができ、材料の研磨密度とその寸法を考慮しています。この制御はオペレータに低いからの高い範囲の磨く圧力を制御する機能を与えるように設計されています。STRASBAUGH 6 ECは、表面研削、ラッピング、研磨中にウェーハに印加される圧力を均等に分散するように設計された高精度な資産です。4つのコントローラ、インシーケンスストップモーション、3Dサーフェスプロファイリング、および研磨圧力を制御する機能を備えた6 E Cは、ウェーハ表面の処理において比類のないレベルの精度を提供します。
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