中古 STRASBAUGH 6EC #293809254 を販売中

STRASBAUGH 6ECは、生産および研究環境におけるスループットと再現性を提供するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。この汎用性の高いマシンは、シリコン、GaAs、 GaN、シリコンカーバイドなど、円形と長方形の両方のウェハ構成で幅広いウエハを処理することができます。STRASBAUGH 6 ECは、アプリケーション要件に最大限の柔軟性を提供する3つのモジュール式ポッドで構成されています。グラインドポッドでは、8ステーションの動作によって急速な在庫除去が達成され、それぞれがウェーハ表面から材料を除去するために回転して振動する2つのダイヤモンドホイールが含まれています。パワフルなモーターとカスタムデザインのホイールにより、研削時の高効率と精度を実現します。ラッピングポッドは、ウェーハの下側に不透明または透明なラッピング液を配分する精密なスラリー配送システムを備えています。ウエハーがスラリーにさらされた後、ポッドのラボ技術者は最終ラッピングプロセスを使用して均質な表面を提供します。研磨ポッドでは、優れた仕上げと優れた材料除去を生成するために、ウェーハにabradingと酸化セリウムのスラリーの組み合わせを提供する8ステーションが利用可能です。アクティブなスラリー管理とロードセルユニットは、攻撃的なスラリーでも、迅速かつ再現性のある研磨を保証します。ポッド間の完全に統合されたロボットアームにより、操作が簡単になり、ウェーハの積み下ろしが容易になります。すべてのポッド、モーター、安全部品および他の部品を含んでいる全体の6つのE Cの構造は健全な減衰のキャビネットで囲まれて、既存の生産ラインへの容易な統合を可能にします。キャビネットには、ウェーハ研削、ラッピング、研磨中に生成された破片を捕捉および廃棄するためのソリッドステートエアーフィルトレーションマシンも含まれています。安全性と利便性を高めるために、6 ECの操作を制御するためのオペレータインターフェイスも含まれています。このインターフェースにより、技術者はプロセスパラメータ、テストプロトコル、およびその他の運用パラメータを簡単かつ正確に制御できます。さらに、このツールは高い生産歩留まりを提供するように設計されています。この非常に汎用性の高いマシンは、高い生産スループットと最大の再現性を提供しながら、ウェーハサイズ、材料、構成の多種多様を効率的に処理します。研究開発環境での少量生産と中量生産の両方に最適です。