中古 STRASBAUGH 6EC #293709497 を販売中

STRASBAUGH 6ECウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、シリコンウェーハおよびその他の硬質基板（例えば、ヒ素ガリウム、セラミックなど）の正確で高精度な表面調整と仕上げのためのユニークな自動生産ソリューションです。6ステーションのproCESS CONTROLLERを使用して設計されており、研削、ラッピング、研磨プロセス全体のすべての動作、力、回転を制御できます。STRASBAUGH 6 ECには、PCベースのソフトウェアコントロールスイート、自動ウェハマッピング、自動化されたプロセス監視および分析、ジョイスティック制御、ビジョンシステムなど、多くの先進技術と機能が搭載されています。6E Cは、二軸オートマチックムーブメントとフォーカシング機能を活用して、ウェーハ径1cmあたり± 2 µmの精度で、さまざまな直径と厚さのウェーハの研削、ラッピング、研磨を実現します。また、ウェーハからウェーハまでの高速な均一性を実現し、1つのウェーハ径にわたって最大5µm以下のウェーハ間バリエーションを実現します。6ECは研削工程の間に研磨スラリーの一貫した供給を提供するために高圧水スラリー・システムが装備されています。ユニークな研磨流量補正機構も備えており、ウェーハ全体の研磨圧力と動きを正確にバランスさせることで、均一な研削プロファイルを実現します。STRASBAUGH 6 E Cは、さらに加工やコーティングの準備が整う前に、研削、ラッピング、または研磨残留物がウェーハから除去されるように、ポストプロセス洗浄機を備えています。さらに、6つのECは、コーティングおよびプロセスチェックポイント前にウェーハの表面プロファイルをテストするためのシステムを内蔵しています。このツールは、表面粗さ、ステップ高さ、反りなど、さまざまな分析をウェーハ上で実行できます。STRASBAUGH 6ECウェーハ研削、ラッピング&研磨アセットは、シリコンウェーハなどの硬質基板の精密研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。STRASBAUGH 6 ECは、自動化された制御スイートおよびポストプロセス洗浄モデルと相まって、高い精度と再現性を実現し、さまざまなウェーハ研削、ラッピング、研磨アプリケーションに最適です。