中古 STRASBAUGH 6EC #141548 を販売中

ID: 141548
CMP system, 4" CMP Research, failure analysis, and low-volume production Semiautomatic operations via color touch-screen GUI VIPRR Carrier & hydro-lift load station Single table 22" Diameter polish platen Integrated pad conditioner Load/unload station with wafer rinsing Backside pressure control system Vacuum / fluids separation unit 6EC Manuals Option: (5) Carrier template for small samples: Configured for 2", or non-standard shapes and sizes Thickness and shape to be defined.
STRASBAUGH 6ECは、ウェーハの生産において比類のない表面仕上げを提供する最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ウェーハの生産を高速化し、研削、ラッピング、研磨サイクルを最大90%削減するように設計されています。STRASBAUGH 6 ECのモジュラー設計は、特定のウェーハサイズ、形状、厚さのカスタマイズと構成に柔軟性を提供します。6つのE Cは三相、ステンレス鋼の粉砕プロセスを利用します。このプロセスは柔らかい粉砕、中型粉砕および堅い粉砕、調節および磨くことから成っています。ソフトグラインドは、サンプルの表面を任意の凹凸や尾根で研削することによって調製されるプロセスの最初のステップです。中間の粉砕の間に、ダイヤモンドの合成のドレッシングリングが付いている腕を締める高速円形のウエハは表面の不規則性を最小にします。ハード研削フェーズは、特定の形状とサイズがウェーハに付与される場所です。最終的な調節および磨く段階はサンプルに光沢があり、完璧な終わりを与えます。6独自のトップダウン洗浄方式を採用。このアプローチにより、生産工程への粒子の放出を防止することにより、ユニット全体を効率的かつ効果的に洗浄し、汚染を最小限に抑えることができます。機械の高度の安全機能はまた異なった物質的な汚染物を使用するとき潜在的な十字の汚染からオペレータを保護します。STRASBAUGH 6 E Cは、プロセス履歴とユーザプログラミング可能なデータストレージを備えた直感的なタッチスクリーンコントロールパネルによって制御されます。このコントロールパネルは、トラフ速度、ステップ間のドウェル時間、圧力範囲、グリットサイズと深さ、およびクーラント濃度を設定することもできます。その他の機能には、プログラマブルなコマンド言語を使いやすく、繰り返しのプロセスに合わせてカスタマイズ可能なレシピがあります。結論として、6ECはウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールであり、高品質の表面仕上げを実現しながら、ウェーハの生産時間を短縮するように設計されています。この資産は、プロセス履歴、データストレージ、カスタマイズ可能なレシピを提供する高度で直感的なタッチコントロールパネルによって駆動されます。独自のトップダウンクリーニングアプローチは、効率的かつ効果的に洗浄しながらクロスコンタミネーションを防ぎます。
まだレビューはありません