中古 STRASBAUGH 6DS #9233844 を販売中
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STRASBAUGH 6DSは、幅広い半導体基板材料の高精度加工のために設計された完全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ダイヤモンド研削プレートを使用して非常に厳しい公差と精密な表面仕上げを実現し、高度な自動化機能により、時間に敏感な生産タスクに迅速かつ一貫した結果をもたらします。このシステムは、ダイヤモンド研削板のシリーズを使用しており、それぞれが特定の目的のために設計されています。最初の研削板は、表面粗さを低減し、ウェハ全体に均一性をもたらすことにより、さらなる加工のために半導体基板材料を準備します。これに続いて、ダイヤモンドグリットを備えたより細かいプレートが続き、さらに粗さを減らし、より洗練された仕上げを作り出します。次に、異なるグリットとメディアタイプのラッピングプレートを使用して、表面を正確に定義された仕様に研磨します。最後に、仕上げプレートを使用して、目的の最終仕上げになる複数の研磨動きを適用します。6DSは、ウェーハ配置用のインフィードユニットと、ウェーハ表面の連続監視用の統合ビジョンマシンを使用して、均一な処理と最適な結果を保証します。さらに、タッチスクリーンオペレーターインターフェイスを使用すると、基板プロファイルや研削パラメータから冷却サイクルの持続時間、ラッピングプレートの数まで、プロセスパラメータの設定が可能になります。さらに、このツールにはユニークなエラー回復アセットが含まれており、オペレータは発生する可能性のある生産上の問題を修正できます。STRASBAUGH 6DSウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルの特徴を組み合わせることで、自動化された高精度な半導体部品の製造が可能になります。この装置は、現在の業界標準を超える表面プロファイルと仕上げを達成することができ、あらゆる半導体製造設備にとって貴重なツールとなります。統合されたビジョンシステムとレポート機能により、生産における精度と一貫性が保証され、可能な限り最良の結果が容易に保証されます。
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