中古 STRASBAUGH 6DS-SP #9410927 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、ウエハ研削、ラッピング、研磨（GL&P）装置で、1nmの平坦性と平行性を持つ脆性から延性基板まで、さまざまな材料を処理するように設計されています。このシステムは、半導体、医療、データストレージなど、複数の業界にわたるさまざまなアプリケーションに適しています。このユニットは完全に自動化された多軸制御を備えており、最大精度と高性能のために設計されています。STRASBAUGH 6 DS-SPは、<1 nmの絶対平坦性と<5 µmの平行性を実現しています。6DS-SPはまた、プロセス開発のすべての段階で高精度なアライメントと測定を可能にする最先端の統合ビジョンマシンを備えています。このツールは、シリコン、ガラス、石英、その他の無機基板などの異なる材料を、従来のプロセスと独自のプロセスの両方で処理できるように、独自のプロセスチャンバー設計を利用しています。その強力な研磨スラリー、スピンドル、真空システムは、超精密な材料除去と機械、化学、熱処理の組み合わせを可能にします。この資産は効率的で安全であり、空気、温度、湿度を監視する業界をリードする安全および環境モニタリングモデルを備えています。また、自動化されたワークプレイス洗浄システムを備えたビデオ監視装置、およびプロセスチャンバーの小さなが不可欠な汚染を最小限に抑えるための振動フィーダも含まれています。6つのDS-SPは200mmおよび300mmのウエハを処理するように設計されており、必要に応じてより大きいウエハを扱うためにスケールすることができます。このユニットはサンプルリテンションマシンで柔軟性を提供し、テープ、セキュア、またはセキュアでないフォーマットを可能にします。このツールは、研究開発、故障解析、生産GL&Pアプリケーション、およびナノスケールの精度で高精度GL&Pを要求する技術に最適です。