中古 STRASBAUGH 6DS-SP #9314688 を販売中

ID: 9314688
ウェーハサイズ: 8"
CMP Polisher, 8".
STRASBAUGH 6DS-SPは、シリコン、ガリウムヒ化物、その他の先端材料などの様々な材料を処理するために設計された半自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。STRASBAUGH 6 DS-SPは、優れた表面平坦性と質感のための超音波ラッピングと研磨だけでなく、電気化学摩耗を含む材料除去のための高度な技術の範囲を採用しています。6DS-SPには、2つのウェーハ研削/ラッピングスピンドルと1つの研磨スピンドルが組み込まれています。研削スピンドルは、ダイヤモンドテープとダイヤモンドフィルム研削媒体を使用して、摩耗ベースの材料除去を行います。ダイヤモンドフィルムは、熱硬化技術によって柔軟なスピンオンまたは真空接着プラスチックバッキングに接着されます。ダイヤモンドメディアは、エッチングまたはレーザードリルパターンに適用して、質感や表面平坦性を向上させることができます。6 DS-SPは、クラス最高の2500 rpmまでのドライブ速度を提供します。これは最大限の加工効率が必要であり、材料除去率を向上させることができます。このシステムは、研削面をスピンドルの耐久性のない振動や揺れから保護する高度な保護装置を備えています。STRASBAUGH 6DS-SPは、クリスタルクリアなポリカーボネート膜のふたで、ほこりのない環境を提供する簡単なメンテナンスのために設計されています。ラッピングスピンドルは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨の第2ステップを担当します。シリカソルとダイヤモンド粒子のスラリーを利用し、ラッピングは優れた表面滑らかさをもたらす強力な研磨技術です。STRASBAUGH 6 DS-SPラッピングスピンドルは可変リンクアームを備え、最大限の柔軟性と制御を実現します。リンクアームは、均一な材料除去を保証するために、連続的に可変的な回転、平面内、および平面外の動きを提供します。6DS-SP研磨スピンドルは、プロセスの第三段階であり、高速で処理することができます、表面の滑らかさを改善する研磨、および増加した材料の除去。単位は材料の取り外しの高められた精密そして制御のための可変的な圧力を提供します。プラテンの動き、プラテンの速度、プラテンの圧力の数も柔軟性を高めるためにプログラム可能です。6つのDS-SP機械はまだ経済的、維持し易いですが優秀な性能、速度および精密を提供するように設計されています。汎用性の高いスピンドルと高度な機能を備えたこのウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールは、一貫した結果を持つさまざまな材料の処理に使用できます。
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