中古 STRASBAUGH 6DS-SP #9314684 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体およびオプトエレクトロニクス産業で使用するために設計された精密研磨機です。STRASBAUGH 6 DS-SPシステムは、自動可変速度駆動ユニットを備えており、ラップ操作と研削操作の両方に精密で均一なモーションコントロールを提供します。機械の傾き、ストローク、軌道運動機能により、セラミックス、ガラス、サファイアなど、フラットでフレキシブルなウエハまたは困難な基板材料の高速在庫除去と精密な表面仕上げが可能です。直径150mmまでの半導体・光電子基板に最適です。6DS-SPツールは、調整可能なプログラマブルな中心質量と均一な負荷分散を備えた、高度で高精度な輪郭の平面プラテンを備えており、プロセス全体にわたってウェーハからプラテンまでの最良の接触を保証します。その精密制御されたインフィード率は、素早い在庫除去を容易にし、表面仕上げの品質を向上させるための雑音を排除します。また、プラテン圧力、オリフィス状態、およびスラリー粒子捕獲を制御し、再現可能な結果を得るための正確なインプロセス測定機能を提供します。6 DS-SPアセットは、フルジオメトリ研削、ラッピング、研磨機能を提供します。その統合された研磨パッドは、不規則な形状または繊細な表面特徴を持つウエハを研磨するためのカスタマイズ可能なジオメトリを備えています。高度なSmart Polishソフトウェアモジュールは、事前に定義されたパラメータに基づいて自動シーケンスを提供します。さらに、特許取得済みのSmart Levelテクノロジーは、迅速かつ簡単な表面平坦度測定を提供します。モデルの明るく読みやすいLEDディスプレイは、圧力、速度、温度に対するリアルタイムフィードバックとともに、正確で滑らかな動きを保証します。また、使いやすく直感的なオペレータインターフェイスと、正確で再現性のある操作のための事前定義された作業レシピを備えた容量性タッチスクリーンを備えています。これには、あらゆるタイプのワークステーションとプロセス設計のための幅広いインストールオプションと、ラッピングおよび研磨機をオープンプロセスシステムに統合するための複数の周辺機器の互換性が含まれています。STRASBAUGH 6DS-SP装置は、ハードとソフトの両方の材料でラッピングと研磨の両方のタスクに最適な優れたウェーハエッジ品質を提供します。量産と研究開発のための経済的なソリューションを提供し、短いリードタイムと一貫した結果を可能にします。このような調整可能な質量中心や均一な圧力分布などのユニークな機能は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨作業のための効率的で費用対効果の高いオプションになります。