中古 STRASBAUGH 6DS-SP #9314675 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、シリコン、ヒ素ガリウム、石英、サファイアなどの硬質および軟質基板の高品質、表面仕上げ研磨を提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。任意のサイクルで2「-2。5」ウェーハの同時研削、ラッピング&研磨が可能です。このシステムは、繊維などの小型基板用と、GaAsなどの大型基板用の2つの異なるプラットフォームを提供しています。STRASBAUGH 6 DS-SPユニットは、メインコントロールユニットと各種サブユニットで構成されています。メインコントロールユニットは、マシン全体の監視と管理を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェースを提供します。メイン制御には、研削、ラッピング、研磨機に電力を供給する電源ユニットもあります。研削、ラッピング、研磨機は、研削クラス、ラッピングクラス、研磨クラスの3つのクラスに分かれています。研削クラスは、2ポイントツールを備えた自動ウェーハローディングステーションで構成されており、ウェーハの向きを調整するだけでなく、最大0。5インチの深さに対応し、一度に最大8つのウェーハを保持するプログラム可能な研削チャンバーも備えています。これは、可変周波数ドライブで設計されており、最大35000 rpmを可能にします。研削クラスは、ウェーハの両面を同時に、さまざまな角度で研削することができます。ラッピングクラスは、一度に最大8個のウェーハを保持するオートローダーで構成され、ウェーハの両側にプログラム可能です。ウエハーの平らな表面には、研磨スラリーの制御された流れが導入されており、より高い制御性とラッピングのためのより低いサイクルタイムを可能にします。ラッピングクラスは、より高い平坦性を確保するために、回転ラップホイール上でウェーハを実行します。最後に、研磨クラスは、より高いレベルの表面仕上げと欠陥の減少を達成するために、電気化学研磨または研磨研磨プロセスのいずれかを利用しています。ウエハ上には薄く導電性の高い層があり、研磨動作を改善します。また、最大8個のウエハを一度に保持できるプログラマブルなオートローダーも備えています。6DS-SPは、ウェーハの制御、精密な研削、ラッピング、研磨をさまざまな用途に提供する最先端の資産です。その印象的な速度、精度、モデル制御、汎用性は、さまざまなウェーハのニーズに最適な機器です。このシステムは比較的操作が簡単で、完全なウエハ研削、ラッピング&研磨ユニットを探しているラボに大きな追加をもたらします。