中古 STRASBAUGH 6DS-SP #9314673 を販売中

ID: 9314673
ウェーハサイズ: 8"
CMP Polisher, 8" Spare parts included.
STRASBAUGH 6DS-SPは、半導体生産用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。STRASBAUGH 6 DS-SPは2つのワークゾーンで構成されており、それぞれが複数のウエハを一度に処理できます。第1ゾーンは研削とラッピングを行い、第2ゾーンは精密な研磨を提供します。6DS-SPシステムは、複数のウエハサイズを含む様々な基板上に高磨き仕上げを生成するように設計されています。6 DS-SPには、2ゾーン作業プラットフォーム、ロータラッピングユニット、ロディウス研磨機、研磨ベッド、旋回ヘッド、マニピュレータアーム、ウォータージェットブラシ容量が含まれています。2ゾーン作業プラットフォームは、基板処理のための安全で人間工学に基づいた作業環境を提供します。ロータラッピングツールは、研磨ラッピングパッドと様々なラッピングおよび研磨プロセスを使用して基板バルクを除去し、高品質の鏡のような仕上げを実現します。Rhodius研磨アセットは、ダイヤモンド粉末とスラリーを介して基板表面仕上げをさらに高めるように設計されています。研磨ベッドは、基板の取り扱いが容易な平坦な水平面を提供します。また、基板の高速除去と挿入のために構築されています。スイベルヘッドは、迅速な角度調整と洗浄・研磨のための精密な回転運動を可能にし、効率的なウェーハ処理を可能にします。マニピュレータアームは、正確な基板処理を保証し、基板の正確な配置を可能にし、最適なプロセス効率を実現します。ウォータージェットブラシ機能は、汚染物質の除去のための信頼性の高い洗浄ソリューションを提供します。STRASBAUGH 6DS-SPモデルは、複数のウェーハを効率的に処理できるように設計されており、高スループットを実現しています。STRASBAUGH 6 DS-SPは、半自動と手動の両方の制御を提供し、基板処理を制御します。この装置は、オペレータと基板の両方を保護するために、安全インターロックなどの多くの安全機能を備えています。全体として、6DS-SPは半導体製造用に設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。それは有効な基質の処理のための複数の特徴を提供し、安全特徴は安全な労働環境を保障します。6つのDS-SPは、様々な工程を利用することで、様々な基板上で高度に研磨された表面を生成することができます。
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