中古 STRASBAUGH 6DS-SP #9314672 を販売中
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STRASBAUGH 6DS-SPは、世界で最も先進的なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムの1つです。Strabaughの堅牢な6Dプラットフォーム上に構築されており、高精度で欠陥の少ないウェーハ生産用に特別に設計されています。このマシンは、優れた表面仕上げを実現するためにダイヤモンドホイールを使用し、優れた振動吸収性を備えた2つの独立した140mm単面ウェーハ研削ユニットを備えており、ウェーハを強く保ち、研削工程中の損傷を防ぎます。ウェーハラッピングステーションは、ActiveLap™と呼ばれる革新的な技術を使用しています。これは、エアベアリングを使用して、ウェーハに柔らかく滑らかな連続リップルパターンを作成し、表面仕上げと形状が厳密な公差に保持されるようにします。ActiveLap™システムを使用すると、ウェーハを迅速かつ同時に処理することができ、一貫性のある結果を得ることができます。STRASBAUGH 6 DS-SPには280mmの両面ウェーハ研磨ステーションがあり、フラット研磨とコーナー研磨の両方が可能です。真空ホールド技術により再現性に優れ、パッドフリーのキャリアポリッシング技術を採用しており、研磨パッドを使用せずに硬くて柔らかい表面でもスクラッチの少ない研磨が可能です。6DS-SPシステムは、ロボットウェーハピック&プレイスシステムと統合することもでき、さまざまなウェーハ材料で使用することができ、最も汎用性の高いソリューションの1つです。さらに、その高度なソフトウェアは、オペレータが最高レベルのウェーハ品質を確保できるように、スムーズな動作と徹底したプロセス監視を保証します。6 DS-SPは、高品質のウェーハを高速で生産しながら、ユーザーに最高の精度と低欠陥レートを提供するように設計されています。ウエハ研削、ラッピング、研磨技術の最新技術を搭載し、最高レベルの品質を誇り、精密なウエハ生産を必要とするあらゆるアプリケーションに最適なソリューションです。
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