中古 STRASBAUGH 6DS-SP #9211915 を販売中
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ID: 9211915
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
CMP Polisher, 8"
Aluminum platens and lifters
Spare parts included
1996 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SPは、最新のウェーハ研削、ラッピング、研磨技術機器です。このシステムは、優れた歩留まりとデバイス特性と堅牢性を備えた高性能シリコンウェーハおよびMEMSコンポーネントを製造するように設計されています。STRASBAUGH 6 DS-SPは、ラッピングと研磨プラットフォーム、メインシャーシ、およびデジタルコントロールコンピュータで構成されています。ラッピングと研磨プラットフォームは、6DS-SPユニットの中心です。この機械は荒削りと仕上げステーション、シルバーシートステーション、ダイヤモンドディスクステーション、真空ステーションの4つのプロセスステーションで構成されています。荒削りと仕上げステーションには、最大250 RPMの回転が可能なラッピングプラテンがあります。プラテンはまた異なった方向および角度のラッピングおよび磨くことを可能にする調節可能な傾きのメカニズムが装備されています。シルバーシートステーションには、ウェーハの表面を研磨および研磨するためのセラミックライドプレートが装備されています。最後に、ダイヤモンドディスクステーションには、可塑化、クーラントフィード、回転駆動ヘッドが装備されています。このステーションは仕上げ作業に使用され、最大10,000RPMの速度に達することができます。工具の主なシャーシは耐腐食性ステンレス製で、過酷な工場環境での耐久性と信頼性の高い動作を目指して設計されています。ラッピングプラテンの傾きと回転を制御する冷却ファンと3つの低電圧ステッピングモーター、およびダイヤモンドディスクステーションのドライブヘッドが装備されています。デジタルコントロールコンピュータは、資産の正確で自動化された操作を可能にします。ラッピングおよび研磨プロセスに高精度と安定性を提供するように設計されており、直感的でメニュー駆動のグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、操作が簡単です。6 DS-SPモデルは非常に効率的で、歩留まりの向上と歩留まりとデバイス特性の向上をもたらします。また、高精度のMEMS部品の製造にも適しています。この装置は、高品質な結果を生み出しながら高速で動作することができ、半導体製造のためのシリコンウェーハの製造に最適です。
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