中古 STRASBAUGH 6DS-SP #9181741 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置を完全に自動化し、多種多様な材料の一貫した、コスト効率の高い処理を提供します。STRASBAUGH 6 DS-SPは、小さなフットプリント内で最大のスループットを実現するように設計されており、堅牢なコンポーネント、正確なコンピュータガイダンス、高度なプロセス制御アルゴリズムを使用して、1時間あたり最大15ウェーハのスループット速度を実現しています。このシステムは、MEMS材料のレーザー加工、半導体・太陽電池、光電子部品などの用途に適しています。6DS-SPには、オプションの自動ウェハマッピングスキャナと統合された手動ロードステーションが含まれており、最適なサブサーフェスの均一性と0。1ミクロンまでの高精度測定を実現します。制御ソフトウェアは、ウェハの形状、サイズ、形状、および適用された研磨プロセスパラメータを必要に応じて管理できる最新世代の高性能FEI™ （Focus Electrostatics Instruments）技術に基づいています。また、6軸の強制振動プラットフォームを備えており、熱勾配を低減した小規模加工が可能です。このプラットフォームは直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースによって制御されており、Lap-on-Diamond研磨機能を備え、すべての軸で2アーク秒までの動作制御が可能です。6 DS-SPには、リアルタイム表面およびサブサーフェス材料評価用の2次元インプロセスCCDカメラマシンも装備されています。これにより、制御サブシステムにフィードバックするためのリアルタイムデータが提供されます。この操作が簡単なツールには、緊急停止ボタン、スプラッシュアウトアラーム、クイックリリースコンポーネントなど、パラメーターを簡単に変更できるさまざまな安全機能が装備されています。さらに、STRASBAUGH 6DS-SPは安全なコンポーネントを使用し、CE （Conformite Europeenne）安全規格に準拠しています。また、ソフトウェアベースの自動プロセス制御とモニタ機能を備えており、ウェーハコーティングプロセスの精度と再現性を向上させます。全体として、STRASBAUGH 6 DS-SPは、堅牢で高精度なウェーハ研削、ラッピング、研磨資産であり、多数の基板の信頼性と費用対効果の高い処理を提供します。最先端のプロセス制御アルゴリズム、操作の容易さ、安全機能、最新世代のFEI技術のサポートを組み合わせることにより、6DS-SPはさまざまな微細加工アプリケーションに最適です。