中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293831748 を販売中
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ID: 293831748
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2019
CMP Polisher, 6"
ENTEGRIS wafer carrier PA194‑60MB‑61C02
Dual‑lot processing capability with four internal cassettes (2 sender, 2 receiver)
2019 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SPは、高精度のウェーハ表面を生成するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。さまざまなウェーハ表面アプリケーションに効果的かつ効率的なソリューションを提供するさまざまな機能を備えています。このシステムには2つの3軸実装段が装備されており、高精度なウェハ表面研削、ラッピング、研磨が可能です。STRASBAUGH 6 DS-SPは、2つのX-Y-Zモーションを使用して、最大厚さ5。7mmの最大6インチのウェーハサイズに対応します。このユニットは高度なモーションプログラミング機能を備えており、ユーザーは簡単に研削、ラッピング、研磨経路を設計することができます。6DS-SPはまた、ユーザーが簡単にジョブを設定、ロード、設定することができます洗練されたグラインド、ラップ、およびポーランドのスマートプロファイル技術を提供しています。また、ラッピング・研磨工程用のエアベアリングスピンドル搬送・工具交換用の搬送工具や、高解像度ウェハローディング用のロータリーインデクサを内蔵しています。6 DS-SPは、プロセス全体にわたってウェーハの圧力、速度、振動を維持および制御するクローズドループ・プロセスを利用して、一貫した正確な結果を保証します。この資産には、信頼性が高くメンテナンスフリーで完全に統合されたドライブモデルとドライブ精度も装備されています。これにより、高い表面仕上げ精度と再現性が保証されます。STRASBAUGH 6DS-SPには、最適な走行性能を確保するために最適化された高効率のガスベアリングスピンドルが装備されており、振動抑制とサーマルノイズの低減を実現しています。また、クーラントシステムを搭載し、ウェーハ表面の潜在的な汚染を防ぐための漏れ防止を改善しました。全体として、STRASBAUGH 6 DS-SPウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットは、精密ウェーハ表面を達成するための高度で非常に効果的なツールです。幅広い機能により、さまざまなウェーハ表面アプリケーションに効率的で信頼性の高いソリューションを提供します。
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