中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293831747 を販売中
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ID: 293831747
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2012
CMP Polisher, 6"
ENTEGRIS wafer carrier PA194‑60MB‑61C02
Dual‑lot processing capability with four internal cassettes (2 sender, 2 receiver)
2012 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SP装置は、自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。高精度サンプル調製用に設計されており、直径2インチ（50。8 mm）から6インチ（152。4 mm）までの材料を加工できます。オプトエレクトロニクス、先端半導体デバイス、材料研究、MEMS、バイオイメージングなど幅広い用途に適しています。STRASBAUGH 6 DS-SPには、サンプル処理の精度と一貫性を向上させるさまざまな機能が含まれています。具体的には、6位置精度のスピンステージにより、高い再現性と高速サンプル積載が可能です。さらに、特別に設計されたラッピングベースプレート、クイックアクセスクランプ付きのウェハキャリア、および処理中にサンプルが移動しないようにするホルダーが付属しています。統合された顕微鏡の目的も含まれており、ラッピング中にサンプルを観察するために使用することができます。6DS-SPマシンには、リアルタイムのプロセス監視とレシピ管理、高速かつ安全なサンプル読み込みのための自動スピンドルバリ取りツールなど、多くのソフトウェアとハードウェアオプションが装備されています。自動化された研削工程には、研削、ラッピング、研磨という3つの異なる工程が組み合わされています。また、すべてのプロセスは再現性が高く再現性が高く、毎回正確なサンプル調製を保証します。この資産には、粉塵粒子などの汚染物質のプロセスへの導入を防止する統合濾過モデルも装備されています。ろ過モジュールには、使い捨てフィルターカートリッジ、廃液を集めるためのドレイン、各サイクル後に基板を乾燥させるエアドライヤーが含まれています。これにより、基板の清潔さと完成品の品質の向上が保証されます。6つのDS-SP装置はESDおよびCSAの標準に迎合的、環境の規則に従います。ノイズレベルが低く、連続動作モードで動作し、信頼性の高いクリーンなサンプル調製プロセスを保証します。STRASBAUGH 6DS-SPシステムは、精密かつ一貫したサンプル研削、ラッピング、研磨のための強力で汎用性の高いツールであり、幅広い用途に適しています。
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