中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293831632 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、より高精度なウェーハ研削、ラッピング、研磨のための革新的なツールです。6インチおよび8インチのウェーハに適した装置は、CMP （Chemical Mechanical Planarization）、光学研磨、およびHIG （High-Intensity Grinding）プロセスの最新技術を組み合わせることで、ウェーハ表面の位置に関係なく、地形を均一かつ再現可能に除去できます。ユニークなトリプルパスシステムは、CMPと研磨プロセスを利用してウェーハの表面とHIGから材料を除去し、同時にウェーハを形作り、平面化します。既存の製造プロセスへの容易な統合により、コストを削減し、スペース要件を最小限に抑え、トレーニングを簡素化します。STRASBAUGH 6 DS-SPのCMPプロセスは、地形上の力を低減し、材料除去の精度を向上させる調整可能な圧力ゾーンに基づいています。さらに、ロータリーメディアとポリウレタン研磨材を使用し、二軸発振モードで構成して生産性を向上させます。ポリウレタン研磨材の数学的に生成された円弧は、連続的で非常に反復可能な仕上がりを形成するのに役立ちます。6DS-SPの精密研磨プロセスは、高精度と再現性にも貢献します。プリロードユニットは、ウェーハ表面に対して均一な力を加えることで、研磨効果をより良く制御し、リテナーアセンブリはウェーハの汚染を防止します。さらに、このツールには調整可能な速度と可変熱制御の両方が含まれており、研磨プロセスをより制御できます。6つのDS-SPアセットの最終部品は、高精度と再現性を実現する高強度研削プロセスです。このプロセスでは、ダイヤモンドメッキ研削砥石を25,30,000 RPMの組み合わせで使用し、残りの地形をミクロン単位で粉砕します。STRASBAUGH 6DS-SPは、ウェーハ研削と研磨の精度と再現性を必要とする製造アプリケーションや研究プロジェクトに最適で、パフォーマンスを犠牲にすることなく、より少ないフットプリントと低い所有コストを提供します。CMP、研磨、高強度の研削プロセスの最新技術を1つのコンパクトモデルに統合することで、優れた再現性を備えた改良されたウェーハ表面を提供し、収率と収益を向上させます。