中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293831063 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、半導体ウェーハの高精度な平面化と仕上げに使用される次世代ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、平面表面を機械的および化学的に研磨し、表面全体のトポグラフィーが低い光学品質仕様に使用されます。STRASBAUGH 6 DS-SPユニットは、SiC、 GaN、 GaAsなどのエキゾチックな素材に0。08nmのピークツーバレー粗さと超滑らかな表面仕上げで優れた性能を提供するように設計されています。6DS-SPは、オーバーヘッド処理機と8スピンドルラッピングヘッドを備えた多軸プラットフォームです。これは、3ゾーンの「ロードロック」設計と、再循環クーラントツールを内蔵したダブルデッキ研削ヘッドと組み合わされています。各ラッピングヘッドスピンドルは、プロセス中にウェーハを正確に保持するためにユニークなクランプ機構で構築されています。インテグラルアイソレータキャビネットは、アセット音響ノイズだけでなく、空中および電気ノイズを低減するために設計に組み込まれています。6つのDS-SPのための制御モデルはオペレータ便利のための色のタッチスクリーンおよび人間機械インターフェイスを使用します。プロセスの最適化は、表面の地形、真空レベル、クランプ力を追跡するリアルタイムデータ収集装置によって達成されます。さらに、SmartMoveツールパスのオプティマイザを使用して、ラッピング、研削、研磨プロセスを最適化します。STRASBAUGH 6DS-SPは、インプロセスメトロロジーオプションを通じて、高精度で再現性のある結果を生成することができます。これは、現在の表面プロファイルを測定するために使用され、正しいプロセスパラメータが適用され、各サイクルでトポグラフィが改善される制御ループが可能になります。さらに、STRASBAUGH 6 DS-SPが推進する低リント環境は、粒子の汚染を最小限に抑え、製品の最終的な信頼性を高めます。6DS-SPウェーハ研削、ラッピング、研磨システムは、幅広い材料で一貫した処理を保証する堅牢で信頼性の高いプラットフォームです。高品質な半導体などの部品を高耐久性で製造し、生産性とコスト効率を向上させます。その革新的な設計、高精度、高度な機能は、最も厳しいプロセス要件を満たすために組み合わされています。