中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293824915 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、半導体産業のために設計された強力で汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。さまざまなウェーハ形状やサイズの高精度な表面を生成するように設計された高速、完全自動化されたシステムです。このユニットは、多結晶シリコン、ヒ素ガリウムなど、さまざまなウエハ基板の研削、ラッピング、研磨に至るまで、幅広い応用可能性を提供します。STRASBAUGH 6 DS-SPは、薄型ウエハの薄型化に特に効果的で効率的な機械です。このツールは、基板のすべての側面で同時に研削、ラップまたは研磨ダイヤモンドホイールを搭載した高速多面スピンドルを利用しています。このスピンドルは、高剛性、低熱膨張フレームに垂直に取り付けられているため、実行時間を最小限に抑え、プロセスサイクル中の精度を維持します。スピンドルは、精密エンコーダを備えたサーボモータによって制御され、動的な速度制御とフィードバックを提供して、研削および研磨プロセスが一貫して再現可能であることを保証します。さらに、このアセットはクローズドループのプロセス制御を備えており、主にユーザーがプロセスのパラメータを指定することができ、プロセスパラメータがフォローされていること、および目的の表面仕上げが達成されていることを確認するためにコントローラにフィードバックを提供します。スピンドル上の近接センサは負荷力を監視し、コントローラによって補償されます。これは、互換性のある反復可能な表面仕上げの結果を生成するのに役立ちます。Strausbaugh 6DS-SPには、エンクロージャのインターロック保護や研磨汚染防止など、さまざまな安全機能が内蔵されています。また、高精度で高効率なダイヤモンドホイールを使用した最適化された高精度スピンドルにより、熱膨張を最小限に抑え、加工時間を最小限に抑える設計となっています。レーザー加工、従来の研削、薄型、研磨など、さまざまな研削、ラッピング、研磨システムに対応しています。さらに、最大外径100mmの150 μ mから6 μ mまでの厚さのウェーハを取り扱うことができます。Strausbaugh 6 DS-SPは、精度、再現性、精度を維持しながら生産性を最大化するように設計されています。