中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293813077 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、平面化および表面粗さの最高レベルの精度を提供し、特に大量の生産アプリケーションに適しています。半導体ウェーハ、MEMS部品、その他の繊細な製品において、超精密、表面平坦性、低表面粗度を実現するために、研磨グリット、スラリー、特殊ガスを組み合わせています。ユニットの中心には6方向スピンドル（6DS）デザインがあり、6つの独立した軸の動きを備えています。これにより、優れた表面仕上げレベルで合理化されたマルチオペレーションプロセス機能を提供します。さらに、機械は複数の平面化と表面仕上げ作業を1サイクルで同時に処理し、優れた再現性と顧客の要求に対する応答性を備えています。STRASBAUGH 6 DS-SPは、1回の作業でウェーハ研削とスライスから、表面のパッシベーションと仕上げまでのプロセス能力のスペクトルを含み、ラッピングと研磨操作を1サイクルで行います。さらに、ウェーハやシングルダイを取り扱う際の同時トリミング、研削、裏面研削を容易にします。6DS-SPはまた「、ホットプロセスモード」を備えており、アセットは、中間のセットアップと検証を必要とせずに、高速サイクル、顧客指定のパラメータに迅速かつ正確に応答することができます。また、先進的な光学技術と視覚技術を搭載しているため、赤外線光源と3Dデジタルカメラを使用して、表面の誤りを自動的に検出し、瞬間的に動きを調整して不一致を取り除くことができます。6 DS-SPは、オプションの傾斜スピンドルも備えており、微小機械部品をウェーハと同じ動作で処理することができます。全体として、STRASBAUGH 6DS-SPは、顧客定義のパラメトリック要件を迅速かつ効率的に満たす柔軟性を備え、同時に研削およびラッピングおよび研磨作業のための前例のないレベルの精度を提供します。これにより、高精度、低表面粗度、平坦性が求められる大量生産に最適です。