中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293811509 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SP
ID: 293811509
ウェーハサイズ: 6"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) system, 6".
STRASBAUGH 6DS-SPウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、最も繊細なオプトエレクトロニクスおよび半導体コンポーネントの精密かつ効率的な生産処理のために設計された多機能の高度な加工ユニットです。この高度に統合されたシステムは、ウェーハ上の超精密な平面または3D表面仕上げを一貫して迅速かつ高収率で実現することができます。STRASBAUGH 6 DS-SPは、さまざまな交換可能な研削工具とラッピングツールを備えた高効率の6軸ロボットツールチェンジャー、真空制御半導体ローダーとウェーハハンドリングユニット、およびソフトウェア制御ポリッシングヘッドを備えたトリプルレベルの自動研磨制御スキームを備えています。この包括的なマシンは、最高レベルのオートメーション、再現性と歩留まりを可能にします。6DS-SPは、独自の6軸MultiRobotツールチェンジャー技術を使用して、研削および研磨ツールを自動的に変更し、市場で入手可能な最速の工具交換時間を提供します。これにより、オペレータの補助を最小限に抑えて大量のワークを迅速に処理できます。TwinReader InfraRedセンシングツールとカスタムのRobotic Handler Armを組み合わせることで、再現性と精度を最大限に高めます。自動化された半導体ローダーとウェーハの取り扱い資産は、ウェーハに特化したローディングとアンロードを提供し、1時間あたり最大4,000ウェーハの速度を提供します。この非常に効率的なローディングおよびアンロード・モデルは、サイクル時間を短縮し、生産歩留まりを向上させるのに役立ちます。さらに、精密調整可能な真空装置は、その敏感な表面を損なうことなく、ウェーハに安全で均一なグリップを提供します。革新的な6軸ロボットツールメンテナンス機能により、正しく動作していないツールが自動的に検出され、交換されます。この機能により、工具の故障によるプロセス時間の遅延を最小限に抑え、生産をスムーズに実行できます。6 DS-SPは、厚さ25mmまでの8インチウエハまで対応可能です。高度に統合された自動化されたこのシステムは、顧客の仕様に合わせて表面仕上げを正確に調整し、究極の再現性と歩留まりを提供します。このユニットは、オプトエレクトロニクスおよび半導体産業の厳しい要求に適しており、今日の動的市場で最も高い要件を効果的に満たすことができます。
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