中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293754576 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、今日の薄型ウェーハ加工業界の厳しい要求に応えるように設計された革新的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、精度と高い生産スループットの両方を提供します。高速、低ノイズ、上面仕上げと低汚染、最小サイクルタイムを両立させたシステムです。STRASBAUGH 6 DS-SPの中心コンポーネントは、特許取得済みの「ゲーター」ツーリングを使用して、比類のない研削および研磨体験を実現する6軸コンピューター制御研削ヘッドです。複数の高速研削および研磨ヘッドは、最も要求の厳しいプロセス要件のニーズを満たすことができます。保護カバーは空気中の汚染を最小限に抑え、密閉されたチャンバーは、清潔でカビのない粒子のない環境を作り出します。6DS-SPは直径200mmから300mmまでの基板に対応し、様々な薄型ウエハ加工に適しています。シリコンウェーハなどの硬質基板から、ガラス、セラミック、アルミニウムなどの軟質基板用途まで、幅広い基板に対応可能です。統合された測定機械、オンライン粒度測定、および屈曲脈拍の技術は最高の基質の性能および反復可能な、一貫した磨く結果を保証します。精度を保証するために、6 DS-SPには高解像度顕微鏡と付属のビジョンカメラが装備されています。この顕微鏡は、最大30倍の倍率で、あらゆる角度から研磨面を高精度に検査します。ビジョンカメラは、一定の性能を確保するために基板表面の高精細画像を迅速かつ正確にキャプチャして記録します。PC制御を備えたフル機能のタッチスクリーンは、セットアップとプログラミングに迅速かつ直感的です。STRASBAUGH 6DS-SPには、最先端のオートメーション技術と統合された高度なプロセスコンピュータとデータロギング機能が搭載されており、ウェーハ処理性能の詳細なビューを提供し、プロセスの傾向を追跡します。STRASBAUGH 6 DS-SPは、自動過負荷保護や安全でない状態に即座に反応するプロセス割り込みツールなど、幅広い安全機能も備えています。伝統的な方法の半分の時間でラップと研磨タスクを完了することにより、6DS-SPは最小サイクルタイムで優れた表面仕上げを得るために探している人のためのゴーツーチョイスです。優れた機能セットとユーザーフレンドリーなデザインにより、6 DS-SPはすべての薄型ウェーハ処理ニーズに最適です。