中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293709492 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、イットリウム酸化物、SiC、 GaN、 Siベースの化合物など、さまざまな材料を対象としたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。表面仕上げを向上させ、より効率的で効果的なラッピングと研磨プロセスを可能にする、より高精度のウェーハを処理するために設計されています。このシステムは、ウェーハ入力を取り、ローディングステーションに配置することで動作します。次に、オペレータは、実行する必要がある研削、ラッピング、および研磨プロセスを選択します。次に、ウェーハを研削部に搬送し、研削室内の液中に浮遊する研磨粒子で研削します。ウエハ表面から材料を除去し、研磨作業が可能です。ウェーハはラッピング部に搬送され、研磨材と特殊ラッピング液を使用してラップされます。このプロセスは、より均一な表面仕上げを生成するために、ウェーハの表面を滑らかにし、研磨します。最後に、ウェーハを研磨ステーションに配置し、4つの主要な研磨技術を受けます。まず、ウェーハの表面が調節され、ウェーハの表面の傷や欠陥を除去します。第二に、ウェーハは化学機械的な研磨プロセスを受け、化学研磨剤を使用することで表面をさらに滑らかにして精製することができます。第三に、ウェーハの表面をさらに洗練するエレクトロ研磨プロセスを受けます。最後に、ウエハーはサブミクロン研磨プロセスを受けます。これは、前のプロセスよりもさらに小さな粒度の表面仕上げを作り出すように設計されています。最終的に、STRASBAUGH 6 DS-SPユニットは、表面仕上げを改善し、処理中に除去する必要がある材料の量を大幅に削減するウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。