中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293646044 を販売中
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ID: 293646044
ウェーハサイズ: 6"
CMP Polisher, 6"
Carrier rebuild station
Primary platen temperature camera
Air: 100 PSI, 10SCFM
Vacuum: 25 Hg
DI Water: 35 PSI minimum 40 PSI Maximum
Acid / Waste drain: 1-1/2" Pipe
Exhaust: 6" duct, 250 SCFM
Dual primary and final platen
Temperature controllable
Pad: Lever-style in-situ, programmable cycle
Slurry system: Dual tank, colloidal silica
Carrier style: Gimbal, dual backpressure controllable
4 Load / Unload station
Manuals
Power supply: 208VAC, 60hz, 3 phase.
STRASBAUGH 6DS-SPは、高度で高度なウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。半導体、サファイア、クオーツウエハなどの繊細な材料の精密研削、ラッピング、研磨が可能です。このユニットは、過酷で危険な環境での使用に適しており、大量の半導体製造に適しています。STRASBAUGH 6 DS-SPマシンは、0。1mmという薄さのウェーハの精密かつ正確な成形を可能にする一連の先進技術を組み合わせています。このツールはプログラム可能な回転ヘッドを備えており、ウェハ表面の精密な研削、ラッピング、研磨を可能にします。アセットはまた、研削、ラッピング、研磨プロセス中の圧力の正確な調整を可能にする圧力監視モデルを利用しています。さらに、統合されたウェーハローダーモーターは、ウェーハの一貫したロードとアンロードを確実にするのに役立ちます。装置はまた、高度な研磨技術を採用しています。この技術は、酸化アルミニウムとダイヤモンドの研磨粒子を利用して、ウェーハの制御された研削、ラッピング、研磨を作成します。この技術は、より一貫した表面仕上げを可能にし、欠陥の低減と製品歩留まりの改善をもたらします。6DS-SPシステムには、研削、ラッピング、研磨プロセスを簡単に制御できるプログラマブルコントロールユニットも備えています。この制御機械は、研削速度、圧力、研磨タイプの調整など、多くの機能を実行するようにプログラムすることができます。制御ツールには、プロセスの監視とデータロギングのためのさまざまなオプションも含まれており、プロセスの正確かつ一貫した実行を可能にします。結論として、6つのDS-SPアセットは、大容量の半導体製造に適した高度かつ高度なウェーハ研削、ラッピング&研磨モデルです。この装置は、高度な技術を組み合わせて、0。1mmの薄さのウェーハを精密かつ正確に形成するとともに、研削、ラッピング、研磨プロセスの制御と精密な制御のためのプログラム可能な制御システムを利用しています。
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