中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293606075 を販売中
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STRASBAUGH 6DS-SPは、化合物半導体ウェーハの製造用に設計された多機能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、特許取得済みの「ゴールデンダイヤモンド」研削プロセスを使用して、精密で厚い均一な層を実現し、最適な研磨性能を実現します。研削工程では、ダイヤモンド含浸研削砥石を使用し、強力でありながら精密な駆動ユニットを駆動します。このホイールは、基材の上面を非常に制御された方法で粉砕し、平面を形成します。空気のチャック機械は基質を握り、粉砕車輪が回されている間一定した力を加えます。これにより、材料が均等に接地され、滑らかな表面が作成されます。ラッピングと研磨プロセスは、2つの独立したダイヤモンド含浸ラップヘッドを採用しています。各ラップヘッドには可変速度があり、ユニークなカッピング効果により、表面を鏡面のように仕上げることができます。基板は2つのラップヘッドの間を前後に移動し、自動化されたプロセスで研磨されます。これにより、非常に一貫した研磨基材が得られます。STRASBAUGH 6 DS-SPには、完成したウエハの品質を正確に制御する最先端の技術が搭載されています。カスタム設計の目視検査ツールは、各ステップの前後に基板表面の高解像度画像をキャプチャして記録し、可能な限り最高の研磨性能を実現します。6DS-SPは、ハイエンドの化合物半導体ウェーハの製造に理想的な資産です。これは、製造プロセスで最高レベルの性能、精度、および一貫性を提供するように設計されています。高度なビデオ検査モデルは、毎回高いウェーハ品質を実現し、この機器は世界中のいくつかの最先端の半導体デバイスメーカーで使用されています。
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