中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293597853 を販売中
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STRASBAUGH 6DS-SPは、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、多くのハイテク産業にとって重要な部品であるナノメートルレベルの表面を作成するように設計されています。STRASBAUGH 6 DS-SPユニットは、半導体の製造に使用される研磨シリコンウエハの製造に最適です。6DS-SPマシンは、ウェーハ表面が滑らかで欠陥のないことを保証するために、ステンレス鋼、ベースマウントされたプラットフォームと高精度のリニアモーションとハンドホイールで設計されています。研削ユニットは、デュアルプラテン設計、ポリマーコンクリート構造、および6インチのプラテン積載能力を備えています。ラッピングと研磨ユニットは、セグメント化された真空チャック、5軸トリム、および2軸コンフィギュレーション可能なプラテンで構成されています。このツールには、2つの独立したウェハキャリアディスクと、ローディング、研削、ラッピング、研磨作業を容易にするウェハコンベアベルトも含まれています。6つのDS-SPの資産はmicroplaining、十字の粉砕、副粉砕、表面の粉砕および欠陥の平らになることができます。さらに、半導体やオプトエレクトロニクス機器に使用されるウェーハ上の超平坦な仕上げのためのナノメートルレベルの表面を生成することができます。クローズドループサーボ制御技術により、精度、再現性、信頼性を保証します。このシステムには、エッジ保護、物理ガード、潤滑制御、緊急停止機能など、いくつかの安全技術が強化されています。STRASBAUGH 6DS-SPユニットのユーザーは、マシンパラメータをプログラミングおよび制御し、並行プロセス操作を可能にすることにより、プロセス全体を自動化することもできます。このツールには、ユーザーがカスタマイズされた情報を入力できるタッチスクリーンインターフェイス、データログと統計プロセス制御(SPC)チャートを保存および/または共有することができます。STRASBAUGH 6 DS-SPは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスの最高水準の品質と生産を満たすように設計されています。革新的な設計、クローズドループサーボ制御、安全機能、オートメーション可能性、およびタッチスクリーンインターフェイスにより、ユーザーは最高レベルの精度、再現性、信頼性を保証できます。
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