中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293594678 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体ウェーハ製造プロセスで使用するための専門システムです。ユニットは、ハウジング、研削ホイール、研磨テーブルなどの精密加工部品のセットで構成されています。このマシンは、シリコンウェーハ上に完全に滑らかで均一な表面を作成するために使用され、デバイスのパフォーマンスの向上と生産歩留まりの向上を可能にします。工具の研削砥石は、ウェーハのサイズを機械的に小さくするために使用されます。このプロセスは、大きな表面欠陥を除去し、適度に微細な表面構造を生成します。その後、ラッピングプロセスは、ウェーハの表面をさらに洗練するためにロータリーラッピングテーブルを使用します。研磨テーブルは、ウェーハ上の残りの欠陥を滑らかにします。STRASBAUGH 6 DS-SPは、独自のアルゴリズムと優れた再現性と高い歩留まりを確保するための研磨と研磨技術の組み合わせで、表面仕上げパラメータを優れた制御のために設計されています。このアセットは、0。2nm以下のRA（粗さ平均）値と0。3nm以下のWLP（波長レーザプロフィロメトリー）値を持つ表面を生成し、最大0。03nmのRMSを滑らかにすることができます。6DS-SPモデルは非常に堅牢で、電力定格は480V、 3相、50Hz、動作温度範囲は-20〜70°Cです。また、過熱シャットダウン、プログラム可能な緊急停止システム、接地スイッチなど、さまざまな安全機能を備えています。優れた再現性に加えて、ウェーハの厚さを500 μ mから100 μ m未満に50秒未満で削減することができ、最大50ウェーハ/分の生産速度を実現しています。マシンはまた、最小限のオペレータ介入を必要とし、事実上メンテナンスフリーであり、コストを削減し、効率を向上させます。また、このツールは信頼性が高く、平均故障時間は250,000時間を超えています。最後に、6 DS-SPは高度にモジュール化された資産であり、特定の製造ニーズに合わせてカスタマイズすることができます。さらに、このモデルは非常に柔軟性があり、あらゆる材料および厚さのウェーハ、および異なる研削および研磨パラメータに対応できます。STRASBAUGH 6DS-SPウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、生産性と歩留まりを最適化するために探している精密ウェーハ製造作業のための優れた選択肢です。精度、スピード、柔軟性を兼ね備えているため、大量の半導体製造事業に最適なソリューションです。