中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293594676 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SP
ID: 293594676
CMP Polisher.
STRASBAUGH 6DS-SPは、化合物半導体デバイスウェーハの製造における最高レベルの表面仕上げと形状精度を満たすように設計された精密グレードのウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。システムは高度なエンジニアリングの結果であり、高い精度と再現性を必要とするアプリケーションに適しています。ユニットの主なコンポーネントには、グラインダー、ラッピングマニホールド、研磨キャリア、環境制御機械(ECS)、制御コンソールがあります。研削盤には、6インチカーバイド研削ホイールを搭載し、粗くて微細な研削が可能で、表面の完全性に優れています。工具の中核である精密グラインダキャリッジは、線形軸受技術を使用しており、高レベルの性能のためにプログラムすることができます。ラッピングマニホールドは、正確に制御され最適化されたソリューションで一貫した均一なラッピング環境を提供するように設計されています。ダイヤモンド研磨パッドを装備した精密研磨キャリアは、優れた表面仕上げと均一性を達成するように設計されています。ECSは、粉塵を低減し、1本のウェーハでのワンステップ研削を最小限に抑え、表面損傷のリスクを排除するように設計されています。ECSは、3段階のろ過アセットを使用して破片を捕捉および除去し、クリーンで再現性のある表面仕上げを保証します。STRASBAUGH 6 DS-SPコントロールコンソールには、マイクロプロセッサ制御のグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が含まれており、直感的でユーザーフレンドリーな方法でモデルと対話できます。GUIを使用すると、プログラムの構成、実行、保存、パラメータの調整、データの保存が可能になります。また、真空ウェーハチャック付きウェーハハンドリングユニットと取り外し可能なウェーハカセットを搭載し、システムへのウェーハの自動ジョギングとロードを容易にします。6DS-SPは、広範な研究開発に裏打ちされた強力で信頼性の高いユニットです。この機械は半導体産業の厳しい条件を満たすように設計され、設計されました。6つのDS-SPは、高度な技術により、優れた表面整合性と高いスループットでウェーハを処理することができます。
まだレビューはありません