中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293594673 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、半導体産業で使用される高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。優れた表面品質で高精度の誘電率と金属ベースのウェーハを製造することができます。このシステムは、精密研磨ホイールとベルトを使用して、表面粗さを低減し、材料除去率を改善し、非常に滑らかな表面を作成します。ウェーハ研削は、ダイヤモンドコート研磨ホイールとベルトを使用して行われます。この組み合わせは、優れた長期研磨性能と柔軟性を提供し、より効率的で一貫した研削を可能にします。表面特性をさらに改善し、磨くためのウェーハを準備するために制御ラッピングプロセスが使用されます。これにより、ウェーハ表面全体に均一なラッピングと研磨が保証されます。STRASBAUGH 6 DS-SPウェーハ研削ユニットは、高度なオートメーションとプログラムされたレシピ制御を備えており、最小限のユーザー介入で操作することができます。その制御ソフトウェアは、使いやすく、直感的で強力なインターフェースを提供するように設計されています。精密ビジョンマシンを使用して、各ウェハの表面を検査し、セットアップパラメータ、材料除去速度、ラッピングおよび研磨の均一性を監視します。これにより、バッチサイズに関係なく、高品質のウェーハ出力が保証されます。6DS-SPは、実績のあるSTRASBAUGH 6DFTMプラットフォームに基づいており、最新の半導体グレードの金属、合金、誘電材料と互換性があります。先進的なマテリアルハンドリング機能を備え、再現性と再現性に優れた信頼性を提供します。このツールは、金属材料と誘電体の基板の薄い層を持つ1〜30インチのウェーハの大量生産に対応するように特別に設計されています。6 DS-SPはまた、高精度の自動ウェーハプロセス制御と環境封じ込めを提供し、結果の品質を完全に制御することができます。プロセスパラメータの最適化やウェーハ履歴トラッキングなど、さまざまな高度な制御を提供しており、リスクを低減し、処理エラーを排除します。この資産は、品質保証を念頭に置いて設計されており、ストレスマッピング、統計プロセス制御、故障解析などの主要な品質管理ツールが組み込まれています。6DFTMと組み合わせて使用すると、STRASBAUGH 6DS-SPは、精密ウェーハ処理のための手ごわいモデルです。高信頼性ウェーハ製品の厳しいライフサイクル要件を満たすことができるため、プロセス開発や生産に最適です。