中古 STRASBAUGH 6DS-SP #293594671 を販売中

STRASBAUGH 6DS-SPは、高精度とスループットのために設計されたクラス最高のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最大400mmのシリコン、III-V、化合物半導体ウエハーの研削、ラッピング、研磨を可能にし、最大20ミクロンの表面仕上げを可能にするためのシステムです。ユニットは、研削、ラッピング、研磨の1つまたは複数の操作を行うことができます。3軸モーションコントロールとウェーハロード/アンロードテーブルを備え、自動および手動操作モード、および部品の自己完結型ロボットソートを備えています。研削・ラッピングから研磨・バック研削まで、精度と高スループットを両立した幅広い作業に適しています。また、ウェーハスライシング、ワイヤーソーイング、スルーホール掘削、高速ダイシングにも使用できます。精度と再現性を両立させる多軸補正機能を備えた3軸高性能垂直機械軸を採用しています。個々の送り速度と方向、モジュラー調整パラメータにより、すべてのプロセスステップに適しています。ダイレクトステッピングモータによって駆動される精密リニアスライドは、精度と表面仕上げを向上させるために、すべての3軸に使用されます。このツールはまた、リモート統合のためのCANbus制御コンポーネントとイーサネット接続を備えたデジタル制御を採用しています。高精度のエアベアリングは、低振動と優れた「スティックスリップ」特性のために設計されており、極めて高い精度と超低ウェーハ偏向のために設計されています。高度に自動化されたアセットは、サイクル時間を短縮し、ヒューマンエラーの可能性を排除するために、セミオートロード/アンロードシステムを使用しています。このモデルにはグラフィカルツールパスエディタも含まれています。これにより、ユーザーはさまざまな複雑な形状、曲線、線、テーパ機能をすばやく簡単に作成できます。さらに、クローズドループ制御は、加工条件ごとに研削サイクルを自動的に調整し、可能な限り最高の精度と表面仕上げを維持するように設計されています。STRASBAUGH 6 DS-SPは、航空宇宙、自動車から家電まで、さまざまな業界に対応することができ、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に費用対効果の高い、信頼性の高い、効率的なソリューションを提供します。ユーザーフレンドリーで、優れた精度、再現性、スピードを提供するだけでなく、この機器はより迅速な投資回収と最大のスループットを提供します。