中古 STRASBAUGH 6DJ #9215639 を販売中

STRASBAUGH 6DJは、複合半導体、光電子、光学、およびMEMSデバイスの製造に理想的な再現性、高収率の仕上げを提供するように設計された精密両面ウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。このツールは、古い片面研削、ラッピング、研磨システムを置き換えるように設計されており、歩留まり、再現性、効率が向上しています。6DJには2つの独立した加工ヘッドがあり、それぞれ独立して制御可能なリフト軸と傾斜軸、および高精度のW軸翻訳ステージがあり、ワークピースの研削、ラッピング、研磨プロセスを正確かつ再現可能に制御できます。両ヘッドはZ軸ブリッジに取り付けられており、加工ヘッドのより正確な移動を可能にし、プロセスの再現性と精度を向上させます。各処理ヘッドには、より速く、より効率的なプロセスを可能にする自動ローディングおよびアンロード機構が装備されています。この研削工程は、STRASBAUGH 6DJ独自のダイヤモンド研削ホイールによって行われ、低い脱着密度と優れたプロセス再現性を提供します。ラッピングは、機械の水冷ラッピングプレートによって提供され、ワークピースへの熱衝撃を低減するのにも役立ちます。機械の磨くプロセスは二重頭部の磨く車輪によって提供されます。6DJはまた化学機械磨くこと（CMP）および機械磨くことのようなさまざまな異なった磨くプロセスのために容易に形成することができます。STRASBAUGH 6DJの制御システムはオペレータによって容易にプログラムされる各アプリケーションタイプのための調理法のユーザーフレンドリーな操作を可能にします。また、フォースおよび振動センシングシステムを含む幅広いプロセスフィードバックとモニタリング機能を備えており、リアルタイムのプロセスモニタリングが可能です。これらの機能は、プロセスとワークピースの品質を評価するための不可欠なデータをオペレータに提供します。6DJは、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨用途に優れたソリューションを提供する、汎用性の高いプロセス技術です。マシンの汎用性の高い制御機、デュアルプロセスヘッド、および幅広いアクセサリは、シンプルなプロセス要件から複雑なプロセス要件まで、お客様の特定のニーズを満たす柔軟性を提供します。STRASBAUGH 6DJは、すべての化合物半導体、光電子、光学、およびMEMSデバイス要件に対して信頼性の高い再現性のあるソリューションを提供します。