中古 STRASBAUGH 6DF #293829165 を販売中

STRASBAUGH 6DFは、完全に自動化された、頑丈で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置であり、さまざまな基板上で最も正確で反復可能な結果を生成することができます。このシステムは、シリコンウェーハなどの基板上で最高レベルの精密研削・研磨を行うために設計されています。このユニットは、固定ワークスピンドルに取り付けられたデュアルローテータモータと、基板の正確な位置決めを実現するために駆動される精度を備えています。これにより、ラッピング、研削、研磨において最高レベルの精度が得られます。デュアルローテーターモータは、どちらの方向でも20度の回転が可能で、加工用の基板を正確に配置することができます。6DFは、研削、ラッピング、研磨プロセスの速度だけでなく、力を調整する可変圧力フィードバック機構を備えています。サンプルホルダーは、加工される特定の基板に対して調整可能で、直径6インチまでの基板に対応できます。マイクロインテンシファイアチャンバーは、ラッピングおよび研磨プロセス中に基板表面にスラリーを均一に供給します。チャンバーはまた、ラッピングに使用される研磨ディスクの摩耗を軽減するのに役立ちます。超音波振動装置が含まれており、傷を最小限に抑え、最高レベルの精密研削と研磨を実現するために必要な時間を短縮します。このマシンには、さまざまなパラメータと設定を完全に制御するためのインタラクティブなタッチスクリーンインターフェイス、およびデータの入力と出力が装備されています。STRASBAUGH 6DFは、基板の4つのエッジすべてに均一な結果をもたらすことができます。6DFはSEMI規格に準拠しており、機器が正しく動作していることを確認するための統合安全システムが付属しています。このツールはまた、オープンアーキテクチャを備えており、他の外部機器との統合を可能にし、既存のデータモニタとの互換性を確保します。STRASBAUGH 6DFは、シンプルなウエハグラインド、ラッピング、研磨から、プロトタイプや生産基板用のより複雑なカスタムシェイプまで、アプリケーションに最適なソリューションです。アセットには、さまざまなアクセサリとオプションのアップグレードが付属しており、特定のアプリケーション要件を確実に満たしています。