中古 STRASBAUGH 6DE-DC-4 #9233423 を販売中

STRASBAUGH 6DE-DC-4は、10〜200mmのウェーハ加工に適した高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、シングルポイントダイヤモンド研削ホイールとラッピングプレートを対象とした最新の研磨技術を使用しています。このユニットは6度の自由度（6DOF）プラットフォーム上に構築されており、簡単な研削からより複雑なラッピングおよび研磨作業まで、あらゆる作業に柔軟に対応できます。6DE-DC-4は、コンピュータ数値制御（CNC）の位置決めと微細制御を使用して、高い精度を提供します。研磨ディスクはアクチュエータを使用してウェーハの周りに移動し、一連の戦略的に配置されたノズルが研磨液の圧力と流れを制御します。STRASBAUGH 6DE-DC-4は、高度な検査機能も統合しています。フレームグラバー技術を搭載したラインカメラを使用することで、ウエハ表面を正確に検査し、加工ミスを特定することができます。プロセスデータを使用して処理パラメータを最適化し、一貫性のある反復可能な結果を保証します。シングルレイヤーウエハとマルチレイヤウエハの両方を処理することができます。独自のデュアルレベルアプローチにより、異なる研磨流体強度で2段階で処理できます。これにより、各レイヤーが接地され、同じレベルに研磨されます。6DE-DC-4は非常に高い表面の終わりおよび平坦を達成し、また厚いウエハを処理することができます。シリコン材料と化合物半導体材料の両方の製造に使用され、既存の製造ラインに簡単に統合できます。STRASBAUGH 6DE-DC-4は高スループットで、優れたプロセス柔軟性と制御を提供します。これにより、高精度、高スループット、および効率を必要とするあらゆる動作に最適です。